信息记录材料２０２３年９月第２４卷第９期硅纳米锥结构的光吸收特性仿真研究王颖１ꎬ罗宇浏２(１陕西学前师范学院陕西西安７１００６１)(２西安电子科技大学微电子学院陕西西安７１００７１)【摘要】纳米硅阵列材料由于其与体硅材料所不同的新颖的物理性质ꎬ在硅基探测器件与太阳能电池等光电器件中有着潜在的应用前景ꎮ本文通过制备硅基纳米阵列结构来对光进行高效吸收ꎬ对改善器件的抗反射性能有着明显的影响ꎮ本研究利用时域有限差分法在红外波段(１０００~２０００ｎｍ)设计了具有陷光结构的硅纳米锥阵列结构ꎬ对具有不同形状和结构的周期性硅阵列纳米锥结构进行了光学性质的仿真研究ꎬ探究了不同结构参数对于射入光线的反射性能的影响ꎬ对仿真结果进行了分析ꎮ在设计的最优化结构下ꎬ最低的反射率和无结构的体硅相比从３１％降低到１５％ꎮ【关键词】硅ꎻ纳米结构ꎻ抗反射性能【中图分类号】ＴＭ２３【文献标识码】Ａ【文章编号】１００９－５６２４(２０２３)０９－００２０－０４ＳｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｆｏｐｔｉｃａｌａｂｓｏｒｐｔｉｏｎｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｓｉｌｉｃｏｎｎａｎｏｃｏｎｅａｒｒａｙＷＡＮＧＹｉｎｇ１ꎬＬＵＯＹｕｌｉｕ２１ＳｈａａｎｘｉＸｕｅｑｉａｎＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＸｉ’ａｎꎬＳｈａａｎｘｉ７１００６１ꎬＣｈｉｎａ２ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓꎬＸｉｄｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＸｉ’ａｎꎬＳｈａａｎｘｉ７１００７１ꎬＣｈｉｎａ【Ａｂｓｔｒａｃｔ】Ｂｅｃａｕｓｅｏｆｉｔｓｎｏｖｅｌｐｈｙｓｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｗｈｉｃｈａｒｅｄｉｆｆｅｒｅｎｔｆｒｏｍｂｕｌｋｓｉｌｉｃｏｎꎬｎａｎｏ￣ｓｉｌｉｃｏｎａｒｒａｙｍａｔｅｒｉａｌｓｈａｖｅａｐｏｔｅｎｔｉａｌａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｓｐｅｃｔｉｎｓｉｌｉｃｏｎ￣ｂａｓｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒｓꎬｓｏｌａｒｃｅｌｌｓａｎｄｏｔｈｅｒｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｅｖｉｃｅｓ.Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒꎬｔｈｅｓｉｌｉｃｏｎｎａｎｏａｒｒａｙｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｓｐｒｅｐａｒｅｄｔｏａｂｓｏｒｂｌｉｇｈｔｅｆｆｉｃｉｅｎｔｌｙꎬｗｈｉｃｈｈａｓａｎｏｂｖｉｏｕｓｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎｉｍｐｒｏｖｉｎｇｔｈｅａｎｔｉ￣ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｔｈｅｄｅｖｉｃｅ.Ｉｎｔｈｉｓｓｔｕｄｙꎬｔｈｅｆｉｎｉｔｅ￣...
