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高真空 # (3).docVIP免费

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高真空的获得和检漏04级6系学号:PB04210071姓名:高盛华试验目的:1、本实验学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空;2、用静态升压法检漏,并总结其特点.实验原理:1高真空的测量——电离真空规具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离.产生正离子和电子,电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p,故产生的正离子数N+正比于压强p.规管的结构如图pl所示,它主要由发射电子的热阴极(灯丝)加速并收集电子的加速极和收集离子的收集极等三部分组成.其接线图如图p2所示,规管中心热阴极F接零电位,为UK为热阴极加P1普通电离规管p2电离计线路图p3电子轨迹示意图对于一定结构的规管,当各电极电位一定时,对某种气体,在规管中电离所形成的正离子流I+正比于发射电子电流Ie和气体的压强p,即I+=KIep其中比例常数K称为电离计的灵敏度,其意义是在单位电子电流、单位压强下所得到的离子流,其单位为1/Pa,2.真空检漏一个高真空系统,如果经过长时间抽气,仍达不到预期的真空度,在排除泵的因素后,可能的原因有:蒸气源、表面放气、真漏用静态升压法检漏:在高真空系统,漏孔或漏隙用肉眼一般是看不出来的我们通常采用静态升压法,即把系统抽到一定压强后,关闭阀门,将被检部分与泵隔开,由于漏气和表面放气,被检部分的压强将随时间而上升,用电离真空计或复合真空计和秒表,测出p-t关系曲线,由曲线形状,我们可以判断系统是否漏气,如图2.6.3-4听示.图2.6.3-4压强随时间的变化l)直线a平行于t轴,说明压强是恒量,它不随时间而变化,表明系统既无放气也无漏气.2)曲线b开始上升较快而后渐渐变成平行于t轴的直线.这说明系统只有放气而无漏气,气压较低时放气速率较大,达到某一气压值时,放气速率和吸气速率相等,达到平衡,曲线即趋于水平直线.3)直线c是一斜率为的直线.这说明系统只有漏气,系统的漏率为Q漏=V式中V是被检容器的体积.4)曲线d开始上升较快,而后渐渐减慢,最后变成直线.这说明系统既有放气也有漏气.曲线d是b和c的叠加.一个真空系统(或容器)要做到绝对不漏气是不现实的.只要漏孔的漏率足够小,使得平衡压强低于真空系统工作所需要的压强,这些漏孔就是允许的.真空系统正常工作所能允许的最大漏气量,称为最大允许漏率,简称允许漏率.试验步骤:第一步:熟悉仪器,开总电源,拉出低阀,开机械泵,抽钟罩;第二步:开复合真空计电源,接通热偶计,抽钟罩内压强至3~4pa;第三步:接通扩散泵冷却水,低阀推进抽系统,开扩散泵加...

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