第45卷第2期2024年2月仪器仪表学报ChineseJournalofScientificInstrumentVol.45No.2Feb.2024DOI:10.19650/j.cnki.cjsi.J2312167收稿日期:2023-11-17ReceivedDate:2023-11-17∗基金项目:国家自然科学基金青年科学基金(62103290)、辽宁省教育厅面上项目(LJKZ0137)、辽宁省科技厅联合计划项目(2023JH2/101700277)资助基于微纳光纤谐振环的温度传感器研究∗夏凤,杨乃凡,林倩如,杨力凝,刘博(沈阳工业大学信息科学与工程学院沈阳110870)摘要:该项工作制作并验证了基于微纳光纤结型谐振环的高灵敏度且扩大测量范围的温度传感器。在微纳光纤谐振环中产生多个模式并参与谐振,多个模式谐振的光谱相互叠加,形成带包络的游标光谱。通过提取游标光谱的包络线,实现高灵敏度的温度测量,灵敏度高达-10nm/℃。但计算得到利用游标光谱时的温度测量范围仅约为4℃。为解决测量范围过小的问题,将包络光谱与单一频率组分对应的谐振光谱相结合,使测量范围扩大至约20℃。相比于单一频率组分对应的谐振光谱,利用游标包络光谱实现了灵敏度约1600倍的放大。该方案利用游标效应提高温度测量灵敏度的同时,利用单一频率组分对应的谐振光谱扩大了游标光谱的温度测量范围,提高了传感器的性能和实用性。关键词:光纤传感器;微纳光纤谐振环;游标光谱;温度测量;高灵敏度;测量范围扩展中图分类号:TH741文献标识码:A国家标准学科分类代码:460.4035ResearchonthetemperaturesensorbasedonmicrofiberresonatorXiaFeng,YangNaifan,LinQianru,YangLining,LiuBo(CollegeofInformationScienceandEngineering,ShenyangUniversityofTechnology,Shenyang110870,China)Abstract:Thisworkfabricatesanddemonstratesatemperaturesensorwithhighsensitivityandanexpandedmeasuringrangebasedonthemicrofiberknotresonator.Multiple-modesaregeneratedinthemicrofiberknotresonatorandparticipateintheresonance.Thespectraofmultiplemoderesonanceissuperimposedoneachothertoformavernierspectrumwithenvelope.Byextractingtheenvelopeofthevernierspectrum,high-sensitivitytemperaturemeasurementcanbeachievedwiththesensitivityofupto-10nm/℃.However,thetemperaturemeasurementrangeusingthevernierspectrumiscalculatedtobeonlyabout4℃.Tosolvetheproblemoftoosmallmeasurementrange,theenvelopespectrumandsinglefrequencycomponentspectrumarecombinedtoexpandthemeasurementrangetoabout20...