激光干涉仪ISO230-21997统计数表中的名词解释1.选定位置偏差值Xij：=位置偏差运动部件到达的实际位置减去目标位置之差。下标i：表示沿轴线或绕轴线选择的目标位置中的特定位置下标j：运动部件第j次向第i个目标位置趋近2.单项均位偏差=单项平均位置偏差Xi（带上划线）由n次单项趋近某一位置Pi所得到的位置偏差的算术平均值。3.标准不确定度Si:在某一位置的单向定位标准不确定度的估算值Si↑或Si↓通过对某一位置Pi的n次单向趋近所获得的位置偏差标准不确定度的估算值。4.2si：5.平均2Si：6.4Si：7.反向差值Bi：一根轴线从两个相对方向趋近目标位置第i个点时两单项平均位置偏差之差8.双向重复定位精度Ri：Ri=max【2Si↑+2Si↓+/Bi/;Ri↑;Ri↓]8.1单向重复=单向重复定位精度Ri↓或Ri↑由某一位置Pi的单向位置偏差的扩展不确定度确定的范围，覆盖因子为2.Ri↑=4Si↑和Ri↓=4Si↓9.双向均位偏差=双向平均位置偏差从两个方向趋近某一位置Pi所得得单向平均位置偏差↑↓的算术平均值，即一来一回单向平均位置偏差相加然后除以二。10.反向差值B：=轴线反向差值B：沿轴线或绕轴线的各目标位置的反向差值Bi{反向差值Bi：一根轴线从两个相对方向趋近目标位置第i个点时两单项平均位置偏差【单项平均位置偏差Xi带上划线：由n次同一方向趋近某一位置Pi时所得到的位置偏差(位置偏差：运动部件到达的实际位置减去目标位置之差）的算术平均值。】之差}的绝对值中的最大值。11.平均反向差值=轴线平均反向差值：沿轴线或绕轴线的各个目标位置反向差值的算术平均值12.平均位置偏差M=轴线双向平均位置偏差M：在沿轴线或绕轴线的所有被测量目标点的双向平均位置偏差中，找出最大值和最小值，最大值-最小值=平均位置偏差。13.系统偏差=定位系统偏差E=轴线双向定位系统偏差E在沿轴线或绕轴线的所有设定目标点来回两个方向的单向平均位置偏差值里面找出最大值和和最小值，最大值-最小值=定位系统偏差E/在一个轴的来回两个方向的被检测点的单向平均位置偏差里，找出最大值和最小值，最大值-最小值=定位系统偏差E13.1单向定位系统偏差：在沿轴线或绕轴线的所有设定目标点的同一个进给方向的单向平均位置偏差值里面找出最大值和最小值，同一个方向的最大值-同一个方向的最小值=单向定位系统偏差14.单向重复=单向重复定位精度Ri↓或Ri↑由某一位置Pi的单向位置偏差的扩展不确定度确定的范围，覆盖因子为2.Ri↑=4Si↑和Ri↓=4Si↓15.定位精度A=轴线双向定位精度A：由双向定位系统偏...
