传感器与微系统（ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）２０２３年第４２卷第６期ＤＯＩ：１０．１３８７３／Ｊ．１０００—９７８７（２０２３）０６—００３０—０４红外双色测温光学系统误差分析王昭君，丁国清，陈欣（上海交通大学电子信息与电气工程学院仪器科学与工程系，上海２００２４０）摘要：红外双色测温法由于具有不干扰温场、响应速度快等优点，被广泛应用在冶金、电力和电子等工业行业。目前红外双色测温系统采用的双通道光学系统中，采用光轴一致原则。基于双通道红外双色测温系统，分析了分色镜对主光路光轴的影响，结果表明：分色镜会使主光路光轴产生偏移，并影响成像效果。使用Ｚｅｍａｘ软件分别进行仿真验证和搭建光学平台进行实验验证，结果表明：分色镜会使主光路光轴偏移，且在探测器面积较小时，对光学系统产生的影响不可忽略。关键词：红外探测器—温度测量；光学特性；光束偏转；误差分析；分色镜；辐射热中图分类号：ＴＮ２１６文献标识码：Ａ文章编号：１０００—９７８７（２０２３）０６—００３０—０４ＥｒｒｏｒａｎａｌｙｓｉｓｏｆｉｎｆｒａｒｅｄｔｗｏｃｏｌｏｒｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍＷＡＮＧＺｈａｏｊｕｎ，ＤＩＮＧＧｕｏｑｉｎｇ，ＣＨＥＮＸｉｎ（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｇｈａｉＪｉａｏＴｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２００２４０，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｆｒａｒｅｄｔｗｏｃｏｌｏｒｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｉｓｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄｉｎｍｅｔａｌｌｕｒｇｙ，ｅｌｅｃｔｒｉｃｐｏｗｅｒ，ａｎｄｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓｄｕｅｔｏｉｔｓａｄｖａｎｔａｇｅｓｓｕｃｈａｓｎｏｎｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｗｉｔｈｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｆｉｅｌｄａｎｄｆａｓｔｒｅｓｐｏｎｓｅｓｐｅｅｄ．Ｉｎｄｕａｌｃｈａｎｎｅｌｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｔｈａｔｔｈｅｉｎｆｒａｒｅｄｔｗｏｃｏｌｏｒｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍｍｏｓｔｌｙａｄｏｐｔｓｔｈｅｐｒｉ...
