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12材料表面分析技术ppt[精选].pptx
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精选 12 材料 表面 分析 技术 ppt
材料现代测试方法电子光学基础第十二章材料表面分析技术Dept.of MSE,CQU1材料现代测试方法材料表面分析技术表面分析的难点但是,由于被分析的深度和侧向范围是如此浅薄和细微,被检测信号来自极小的采样体积,信息强度十分微弱,重复性差,对分析系统的灵敏度要求也很高。所以,直到六十年代前后,随着超高真空和电子技术的突破,才使表面分析技术迅速发展起来。Dept.of MSE,CQU3材料现代测试方法材料表面分析技术本章主要内容12.1俄歇电子能谱分析12.2X射线光电子能谱分析Dept.of MSE,CQU5

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