ICS13.040.35CCSC70中华人民共和国国家标准GB/T25915.12—2021/ISO14644-12:2018洁净室及相关受控环境第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part12:Specificationsformonitoringofaircleanlinessbynanoscaleparticleconcentration(ISO14644-12:2018,IDT)2021-10-11发布2022-05-01实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布目次前言Ⅰ…………………………………………………………………………………………………………引言Ⅱ…………………………………………………………………………………………………………1范围1………………………………………………………………………………………………………2规范性引用文件1…………………………………………………………………………………………3术语和定义1………………………………………………………………………………………………4监测3………………………………………………………………………………………………………5检测报告3…………………………………………………………………………………………………附录A(资料性)以凝结粒子计数器进行监测的参照方法5……………………………………………附录B(资料性)粒子计数效率和分割粒径8……………………………………………………………参考文献10……………………………………………………………………………………………………GB/T25915.12—2021/ISO14644-12:2018前言本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第12部分。GB/T25915已经发布了以下部分:———第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;———第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;———第3部分:检测方法;———第4部分:设计、建造、启动;———第5部分:运行;———第6部分:词汇;———第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);———第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;———第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;———第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;———第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。本文件等同采用ISO14644-12:2018《洁净室及相关受控环境第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的...
