Organo-FluorineIndustry232024年第1期有机氟业六氟丁二烯的制备工艺研究进展陈芳夏夏秋阳？王昊先朱建秀杜晨峰！（1.中化化工科学技术研究总院有限公司，北京100083；2.中国国际工程咨询有限公司，北京100048；3.中国中煤能源集团有限公司，北京100120）摘要：六氟丁二烯因其刻蚀精准、绿色环保等优势而备受关注，成为新一代电子刻蚀气体的理想产品。目前已报道的六氟丁二烯制备路线复杂多样，以现有制备方法中涉及到的关键中间体为分类标准对当前主流制备工艺进行归纳，并对现阶段取得的进展展开论述。在此基础上，总结主流制备工艺存在的问题并展望未来可行的技术研发方向。关键词：六氟丁二烯；制备工艺；电子气体；刻蚀；关键中间体0育前言六氟丁二烯[1]的分子质量为162.03，凝固点为-130℃，沸点为5.5℃，燃烧体积分数为7%~73%，全球变暖潜能值GWP(100)为290,大气中寿命<2d。半导体工业的飞速发展带动电子刻蚀气体的需求激增。相比于传统的含氟电子气体，六氟丁二烯具有刻蚀精准和绿色环保等优势，是刻蚀气中唯一兼具应用性能和环保性能的产品，因此,被认为是替代传统电子刻蚀气体的理想产品[2-4]。我国对六氟丁二烯的研究较晚，起步于2009年[5],但近年来随着人们对六氟丁二烯关注度的上升，针对其合成研究也加快了步伐。目前已报道的六氟丁二烯的合成方法有多种，相关综述文献也有多篇[6-8],对六氟丁二烯的传统制备工艺进行归纳，如图1所示。CFCI=CFCI>CFCl=CF-CFCICFCl2FCFCl-CFCI-CFCI-CFCl,SbF,Cl,氟化F2>CF,CICFCIICF,CICFCl--CFCI-CF,Cl+CH,C1-CHCI-CHCI-CH,C1ICLClCF=CFCI→CF=CF—CFCI-CF,C1→CF,=CF-CF=CF,XCF2—CF2—CF2—CF,X—CF,I—CFICF2-CFClHCF,-CFCICF,=CF-ZnBr12Zn粉Br2+CF,Br-CHFBr-HBL,CF,=CFBrBr2CF=CHFCF;-CFBr2CF,BrCF,BrCF,CF-HFBI2CF,CI-CHFCICF;-CFH2(HCFC-123a)(HFC-134a)图1六氟丁二烯的传统制备工艺六氟丁二烯的传统制备工艺按关键中间体进行分类,可分为1,2,3,4-四氯-1,1,2,3,4,4-六氟丁烷路线、3,4-二氯六氟-1-丁烯路线、三氟乙烯基溴化锌路线和二卤八氟丁烷路线等。按照不同的关键中间体，分别介绍以其制备六氟丁二烯的具体工艺以及当前取得的新进展，以期为绿色高效、易操作的六氟丁二烯制备工艺提供研究方向。作者简介：陈芳（1991一），女，博士，高级工程师，研究方向为多相催化剂的制备及应用。2024年第1期Organo-FluorineIndustry24有机氟工业一六氟丁二烯的传统制备工艺1.11,2,3,4-四氯-1,1,2,3,4,4-...
