中国科技期刊数据库工业A收稿日期：2023年12月21日作者简介：陈光远（1993—），男，汉族，江苏金湖人，本科，江苏华尔威科技集团有限公司，初级职称，研究方向计算机软件及应用。-76-热式MEMS气体质量流量计陈光远陈雪中程来杰陈雪松江苏华尔威科技集团有限公司，江苏淮安211600摘要：研究设计了一款精度高、响应速度快，重复性好，功耗低，同时依靠复杂流场模型、多数据融合算法和温湿度混合气体流量补偿算法的热式MEMS气体质量流量传感器，设计有高可靠性的气体质量流量控制器的信号放大、控制、检测电路设计，采用百分百国产自主芯片完成系统硬件电路设计，提供自主知识产权的检测介质测量模型软件功能。经过研究，本文研制的热式MEMS质量流量计具有出色的精度、快速响应、良好的重复性和低功耗等优点，可以用来测量微小流量。关键词：流量传感器；电路设计；微小流量中图分类号：TH81流量是生产过程中不可或缺的变量，它不仅是能源计量的基础，也是实现可持续发展的关键因素。它在确保产品质量、提升效率、节约能源等方面扮演着至关重要的角色。特别在工业生产中，流量是经常需要测量和控制的重要参数之一，由于流量测量技术的复杂性，以及科学技术的迅速发展对流量计量提出了更新、更高的要求，流量计量的性能远不能满足当前精细化生产、智能化改造、数字化转型的需要，尤其是石油化工、电力、食品加工、汽车等行业对一些微小流量测量的需求。起初用于流量测量的传感器大多只能间接地测量流量，因此数据的可靠性得不到保障，导致工业生产无法更进一步，上个世纪中期微电子机械系统（MEMS）设想的提出使质量流量传感器的发展转向微型化、无干扰、集成度高的方向。在国外，主要有荷兰、瑞士、美国和日本等技术发达国家，他们利用先进的半导体技术大力的发展热式流量传感器，并且已经取得了一定的成果。如加拿大生产的塞尔瑟斯TF系列热式气体流量计，德国生产的赛多利斯热式气体流量计，包括核级热式质量气体流量计在内的众多工业用高精度流量计，大多使用西门子、ABB、艾默生、科隆、霍尼韦尔等国外企业的产品。但总的来看，目前市场上这类产品之间并不兼容，应用也还没有普遍化，高精度、符合客户要求的热式气体质量流量传感器还在进一步的研制中。世界上生产热式气体质量流量计的有美国的FCI(FLUIDCOMPONENTSINTL)公司、美国的FOX公司、美国的布鲁克斯(BROOKSINSTRUMENT)公司、美国的KURZ公司、德国的BOSCH公司、韩国的IENTEK公司、加拿大的S...
