Feb.2024Vol.53.No.1（Sum304）2024年2月第53卷第1期（总第304期）云南冶金YUNNANMETALLURGY铌是一种坚韧、可塑、银灰色、最轻的难熔金属，铌及铌合金具有熔点高、耐腐蚀性好、无放射性、导热性能好等特点，是现代科学技术中最重要的金属材料之一，在钢铁、航空、电子工业和低温超导等领域已经得到广泛的应用[1]。近年，金属铌新应用的方向之一就是纳米级薄膜涂层，随着黑化膜制备技术的发展，等离子喷涂等铌靶材加工技术的发展日益成熟，进一步加速提升了靶材用金属铌粉末市场需求，但对金属铌粉的性能也不断提出更高要求，特别在化学纯度、气体杂质、粒度分布等方面要求更加苛刻[2]。在高纯度铌粉制备领域，德国、日本等国一直处于世界领先水平。德国H.C.Starck公司的金属热还原法主要以熔融的碱土金属或稀土金属还原五氧化二铌制备铌粉，在10级的超净车间采用特制的设备将铌粉纯度提高到99.9999%以上；日本ShowaCabot公司采用等离子液滴精炼技术对所选粉末进行提纯，能够得到细颗粒低氧的高质量铌粉[3]。但是这些方法工艺流程长，生产成本高，所需设备价格昂贵。国内的生产厂家为了降低生产成本，缩短工艺流程，普遍采用设备价格低，工艺流程短的氢化脱氢法进行铌粉的制备。所得到的铌粉杂质含量普遍偏高，尤其是氧含量偏高，严重影响铌及铌合金靶材的综合性能[4]。目前国内的金属铌粉末生产厂家不能生产出性能稳定的合格产品，导致国内高性能铌粉强烈依赖进口，使*收稿日期：2023-09-13作者简介：梁宏源（1974-），男，宁夏石嘴山人，工程师，主要从事电容器级钽铌粉末的研究。Feb.2024Vol.53.No.1（Sum304）2024年2月第53卷第1期（总第304期）云南冶金YUNNANMETALLURGY靶材用铌粉制备方法研究*梁宏源，程越伟，郭顺，曹平（宁夏东方钽业股份有限公司，宁夏石嘴山753000）摘要：针对生产铌粉含氧量和杂质偏高问题，通过大规格铌锭一次彻底氢化技术、金属铌氢化破碎过程防污染技术、除杂去细提纯技术、铌粉脱氢降氧技术的研究，结果表明：杂质含量增幅由最初120耀200g/t降到30g/t、铌粉中镁含量下降50%耀80%、氧含量低于500g/t，铌粉纯度99.9%、粒度分布适宜。关键词：靶材用铌粉；低氧高纯；一次氢化；除杂去细粉中图分类号：TG146.4+16文献标识码：A文章编号：1006-0308（2024）01-0118-06StudyonPreparationofNiobiumPowderforTargetMaterialsLIANGHong-yuan,CHENGYue-wei,GUOShun,CAOPing(NingxiaOrientTantalumIndustryCo.,Ltd.,Shizuishan...
