第４１卷第５期原子与分子物理学报Ｖｏｌ.４１Ｎｏ.５２０２４年１０月ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＡＴＯＭＩＣＡＮＤＭＯＬＥＣＵＬＡＲＰＨＹＳＩＣＳＯｃｔ.２０２４J.At.Mol.Phys.,2024,41:053001(7pp)053001￣２４５ＧＨｚＥＣＲ强流等离子体源核心部件设计与实验研究李钢１ꎬ２ꎬ陈根２ꎬ段文学２ꎬ彭标２ꎬ３ꎬ尉传颂４(１安徽建筑大学电子与信息工程学院ꎬ合肥２３０６０１ꎻ２中国科学院合肥物质研究院等离子体物理研究所ꎬ合肥２３００３１ꎻ３安徽大学物质科学与信息技术研究院ꎬ合肥２３０６０１ꎻ４合肥中科离子医学技术装备有限公司ꎬ合肥２３００８８)摘要:电子回旋共振(ＥｌｅｃｔｒｏｎＣｙｃｌｏｔｒｏｎＲｅｓｏｎａｎｃｅꎬＥＣＲ)等离子体源能产生高电荷态离子、高流强的单电荷态离子ꎬ提供稳定的束流和良好的重复性核心部件的设计对ＥＣＲ等离子体源是至关重要的ꎬ磁场对等离子体的生成和分布有直接影响ꎬ良好的磁场可以提高等离子体的性能和效率采用有限元分析方法对ＥＣＲ等离子体源磁场进行分析与设计ꎬ得到了满足设计需求与目标的磁场位形ꎬ通过高斯计对设计的永磁环轴向磁场精确测量ꎬ发现磁场仿真结果与实验结果吻合比较好ꎬ只是轴向磁场最大值及对应位置上有点偏差通过集成实验ꎬ研究核心部件对离子源引出束流强度的影响ꎬ引出束流稳定且强度达到７ｍＡ关键词:ＥＣＲ等离子体源ꎻ磁场设计ꎻ引出束流中图分类号:Ｏ６５文献标识码:ＡＤＯＩ:10.19855/j.1000￣0364.2024.053001Ｄｅｓｉｇｎａｎｄｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｓｔｕｄｙｏｆｃｏｒｅｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓｏｆａ２４５ＧＨｚＥＣＲｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔｐｌａｓｍａｓｏｕｒｃｅＬＩＧａｎｇ１ꎬ２ꎬＣＨＥＮＧｅｎ２ꎬＤＵＡＮＷｅｎ￣Ｘｕｅ２ꎬＰＥＮＧＢｉａｏ２ꎬ３ꎬＷＥＩＣｈｕａｎ￣Ｓｏｎｇ４(１ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＡｎｈｕｉＪｉａｎｚｈｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＨｅｆｅｉ２３０６０１ꎬＣｈｉｎａꎻ２ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＰｌａｓｍａＰｈｙｓｉｃｓꎬＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ(ＣＡＳ)ꎬＨｅｆｅｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｓｏｆＰｈｙｓｉｃａｌＳｃｉｅｎｃｅꎬＨｅｆｅｉ２３００３１ꎬＣｈｉｎａꎻ３ＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉ...
