48TALENTSMAGAZINE2023／12CAPITAL&FINANCE｜金融资本国产光刻“机”已经在路上了。华为发布的mate60pro等一系列产品的发布，包括近期关于国产光刻厂的一系列曝光，无疑提振了我国的科技产业。尤其是搭载自研自产的麒麟9000s7nm先进制程芯片，在近些年“中美芯片战争”的背景下，大大提振了国人对于先进科技产业的“国产替代”的信心。曾经受制于海外的技术、设备封锁，也成就了如今的国产芯片崛起。实际上，如果没有这场科技战争，ASML带动下，国产光刻机概念又被重新市场关注。光刻机，被誉为是目前人类制造出的“最精密的仪器”，也是芯片半导体设备中最昂贵、最关键、国产化率最低的环节，全球光刻机市场长期荷兰ASML、日本佳能、尼康三大巨头垄断，而目前最先进的具有波长为13.5nm的极紫外光刻系统的EUV光刻机只有ASML能生产，其中需要10万多个零件组成，而这其中光学系统是光刻机正解剖“中国蔡司”寻找中国自己的“蔡司”，国产光刻“机”已经在路上了。文|本刊记者刘超然或许仍然是不可触及的“神”，毕竟它依旧垄断者着全球最先进芯片供应的核心设备EUV光刻机。但无论麒麟芯片是用什么类型的光刻机制造，工艺如何，激动人心且令人期待的是一直拦在国内芯片制造产业发展航线上的那座巨型冰山，已经开始出现了裂缝。国产光刻机还会有多远？最近的资本市场，在华为产业链49TALENTSMAGAZINE2023／12是其核心，芯片的制程越小，对光的波长要求也越低，对应的光学系统的精度也就越高，而目前全球仅有少数公司具备光刻机超精密光学系统的供应能力，而能稳定折射极紫外光的镜头，只有德国蔡司的光学镜头可以达到，这也是国产光刻机“卡脖子”的一个关键零件。而且从光刻机的价值链，价值最高的无疑是整机，但外购部件占比最高的则是光学部件，以德国蔡司为例，其光刻机光学零部件约占ASML产品总成本的26%，光源部分DUV占比约20%，EUV则占比更高，能达到27%。为了控制成本和加强垄断地位，2013年ASML先是以19.5亿欧元全资控股了极紫外光光源公司美国Cymer，后面又在2016年斥资10亿欧元收购了光学镜头厂商蔡司半导体24.9%的股份。这也是为什么荷兰ASML能横着走的原因，即使是日本的佳能、尼康也无法在EUV光刻机上实现突破，就是因为其必须的光源和反射镜头已全被垄断。对于中国而言，再加上荷兰、日本、美国长期对于芯片半导体关键设备出口依旧限制，要想继续发展国产光刻机，光学零部件国产替代的意义也是相当重大。尽管目前德国蔡司遥遥领先，但国...
