·综述评论·收稿日期:2022-11-12基金项目:郑洛新自创区产业集群专项(201200211600)电子特气的合成与纯化技术研究进展何红振，刘圆梦，张金彪，宋新巍，许福胜(昊华气体有限公司，河南洛阳471000)摘要:电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料，被誉为电子行业的“血液”和“粮食”，电子特气通常对纯度要求高，一般在5N级，部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此，电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术，还包括纯化技术。对电子特气的合成与纯化技术进行了归类总结，合成技术包括电解法、化学法和电解－化学法，纯化技术包括吸附法、精馏法、吸收法、膜分离法等，具有一定的参考价值和指导意义。关键词:电子特气;合成;纯化中图分类号:TQ117文献标志码:A文章编号:1007-7804(2023)01-0001-05doi:10.3969/j.issn.1007-7804.2023.01.001AdvancesinSynthesisandPurificationofElectronicSpecialGasHEHongzhen，LIUYuanmeng，ZHANGJinbiao，SONGXinwei，XUFusheng(HaohuaGasCo．，Ltd．，Luoyang471000，China)Abstract:Electronicspecialgasisanindispensablebasicsupportmaterialintheelectronicsindustry，knownasthe"blood"and"food"oftheelectronicsindustry．Electronicspecialgasusuallyhasahighpurityrequirement，whichisgener-ally5N，andthepurityofsomevarietiesis6Norevenhigher．Therefore，thekeypreparationtechnologyofelectronicspe-cialgasisnotonlythesynthesistechnology，butalsothepurificationtechnology．Inthispaper，thesynthesisandpurifica-tiontechnologiesofelectronicspecialgasareclassifiedandsummarized．Thesynthesistechnologiesincludeelectrolysis，chemicalmethodandelectrolytic-chemicalmethod，andthepurificationtechnologiesincludeadsorptionmethod，distillationmethod，absorptionmethodandmembraneseparationmethod，etc．，whichhascertainreferencevalueandguidingsignifi-cance．Keywords:electronicspecialgas;synthesis;purification1前言电子特气是指用于半导体行业材料和集成电路制备的气体，其应用广泛，是电子行业材料制备过程中一种必不可少的基础性支撑材料，被誉为电子行业的“血液”和“粮食”。在电子材料生产过程中，电子特气的纯度和洁净度可直接影响到电子器件和集成电路的质量。电子特气的研究具有投入大、技术门槛高、用户认可周期长等特点。国外的电子特气品种齐全、数...
