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提交人:张军学号:PB04210060高真空的获得和检漏实验目的:学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空,用静态升压法和氦质谱法检漏,并对比两种方法的特点.实验原理:1.高真空的测量——电离真空规具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离.产生正离子和电子,电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p,故产生的正离子数N+正比于压强p.对于一定结构的规管,当各电极电位一定时,对某种气体,在规管中电离所形成的正离子流I+正比于发射电子电流Ie和气体的压强p,即I+=KIep其中比例常数K称为电离计的灵敏度.2.真空检漏一个高真空系统,如果经过长时间抽气,仍达不到预期的真空度,在排除泵的因素后,可能的原因有:蒸气源:水蒸气、机械泵油和扩散泵油的蒸气、高真空的密封油脂和封蜡的蒸气及系统内其他污染物,形成蒸气源.表面放气:系统的器壁、系统内金属元件表面吸附着大量气体分子,在低压下向系统内释放.真漏:真空系统连接部位安装不良,焊接处有漏孔或漏隙及阀门处密封不严所造成.3.静态升压法p-t关系曲线形状,我们可以判断系统是否漏气,如图2.6.3-4听示.l)直线a平行于t轴,说明压强是恒量,它不随时间而变化,表明系统既无放气也无漏气.2)曲线b开始上升较快而后渐渐变成平行于t轴的直线.这说明系统只有放气而无漏气,气压较低时放气速率较大,达到某一气压值时,放气速率和吸气速率相等,达到平衡,曲线趋于水平直线.1图2.6.3-4压强随时间的变化3)直线c是一斜率为的直线.这说明系统只有漏气,系统的漏率为Q漏=V式中V是被检容器的体积.4)曲线d开始上升较快,而后渐渐减慢,最后变成直线.这说明系统既有放气也有漏气.曲线d是b和c的叠加.4.仪器工作原理(1)热偶计将热偶规管与真空系统相连,若加热丝电流保持恒定.则热电偶的热电势和周围气体有关.加热丝的温度变化由周围气体的导热率决定,当压强降低时气体的分子密度变小,故气体的导热率低,造成加热丝的温度升高,因此热电势将随之增高.如果已知热电势和压强的关系则可直接读出压强值.(2)电离计利用三极管中加热阴极发射电流引起的气体电离现象,所产生的离子流用直流放大器加以放大,由电流表测量.若电离规管的阴极发射电流定不变,则离子流的大小与气体压强成正比.正离子流(由小电流直流放大器测定)被收集极收集,在测量范围内离子流与压强呈线性关系:I+/Ie=SP实验仪器:FZH-2B型复合真空计,DM-300型真空镀膜机,水泵,秒表实验步骤:1、开总电源2、低阀拉出,开机械...

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