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高真空的获得和检漏姓名:张弢学号:pb06210013班级:0611实验目的:学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空,用静态升压法和氦质谱法检漏,并对比两种方法的特点。实验原理:1.高真空的测量——电离真空规对于一定结构的规管,当各电极电位一定时,对某种气体,在规管中电离所形成的正离子流I+正比于发射电子电流Ie和气体的压强p,即I+=KIep电离计的灵敏度K的值可以通过实验测得.在实际测量中,规定发射电流Ie等于常数.2.漏气原因一个高真空系统,如果经过长时间抽气,仍达不到预期的真空度,在排除泵的因素后,可能的原因有:蒸气源:水蒸气、机械泵油和扩散泵油的蒸气、高真空的密封油脂和封蜡的蒸气及系统内其他污染物,形成蒸气源.表面放气:系统的器壁、系统内金属元件表面吸附着大量气体分子,在低压下向系统内释放.真漏:真空系统连接部位安装不良,焊接处有漏孔或漏隙及阀门处密封不严所造成.检漏的首要问题是要判断系统是否漏气,其次是确定漏气率的大小,以便确定它是否在允许范围,最后是用合适的仪器找出漏孔的确切位置,用合适的密封材料堵漏.13.静态升压法检漏把高真空系统抽到一定压强后,关闭阀门,将被检部分与泵隔开,由于漏气和表面放气,被检部分的压强将随时间而上升,用电离真空计或复合真空计和秒表,测出p-t关系曲线,由曲线形状,我们可以判断系统是否漏气,如图2.6.3-4所示.图2.6.3-4压强随时间的变化(1)直线a平行于t轴,说明压强是恒量,它不随时间而变化,表明系统既无放气也无漏气.(2)曲线b开始上升较快而后渐渐变成平行于t轴的直线.这说明系统只有放气而无漏气,气压较低时放气速率较大,达到某一气压值时,放气速率和吸气速率相等,达到平衡,曲线即趋于水平直线.(3)直线c是一斜率为的直线.这说明系统只有漏气,系统的漏率为Q漏=V式中V是被检容器的体积.(4)曲线d开始上升较快,而后渐渐减慢,最后变成直线.这说明系统既有放气也有漏气.曲线d是b和c的叠加.3.测量仪器使用方法(1)热偶计的使用:将热偶规管开封并与系统封接.接通电源,开机预热10分钟,再将“加热一测量”波段开关(S5)放在“加热”位置,调节“电流调节”使加热电流达到标定值,再将“加热一测量”开关放在“测量”位置,从电表第二行刻度读取压强值.热偶规管的转换,依靠“加热一测量”开关,V1位置对应热偶规管V1;,V2位置对应热偶规管V2.2(2)电离计的使用方法把量程开关S4移到10-1,打开灯丝开关S2预热十分钟后,即可从10-1、10-2、……依次测量系统的真空度.在电离...

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