真空镀膜真空镀膜•一、引言一、引言•二、真空技术入门二、真空技术入门•三、薄膜材料的制备三、薄膜材料的制备•四、真空蒸发镀膜实验四、真空蒸发镀膜实验•五、薄膜厚度的计算五、薄膜厚度的计算•六、薄膜厚度的测量六、薄膜厚度的测量真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具发展前途的重要技术之真空镀膜技术被誉为最具发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。。市场前景。。一、引言一、引言二、真空技术入门二、真空技术入门真空：低于一个大气压的气体状态。真空：低于一个大气压的气体状态。16431643年，意大利物理学家托里拆利年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)(E.Torricelli)首创著名的大气压实验，获得真空。首创著名的大气压实验，获得真空。自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇宙空间。宙空间。人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。真空度的单位真空度的单位11标准大气压标准大气压=760mmHg=760(Tor=760mmHg=760(Torr)r)11标准大气压标准大气压=1.013x10=1.013x1055PaPa1Torr=133.3Pa1Torr=133.3Pa真空区域的划分真空区域的划分目前尚无统一规定，一般最常见的划分为：目前尚无统一规定，一般最常见的划分为：粗真空粗真空低真空低真空高真空高真空超高真空超高真空极高真空极高真空)10760(101035Torrpa)1010(1010313Torrpa)1010(10108361Torrpa)1010(1010128106Torrpa)10(101210Torrpa真...
