2022年第12期化学工程与装备2022年12月ChemicalEngineering&Equipment191大口径反射镜精密装校工艺过程的质量管控易聪之，叶朗，全旭松，曹庭分，张尽力（中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900）摘要：大口径反射镜作为高功率固体激光装置中的光传输模块，其装校性能主要体现在其装校后的光学元件表面洁净度和光学元件反射波前畸变（即面形PV）。本文从人、机、料、环、法、测等方面出发，梳理了大口径反射镜光机装校工艺过程中的满足其光学性能和表面洁净度性能的质量控制要求，为复杂光机系统中的光学元件洁净精密装校工艺过程的质量管控提供参考与借鉴。关键词：反射镜；质量管控；面形畸变引言高功率固体激光装置中由成千上万块大口光学元件组成，其中大口径反射镜作为光束传输部分的核心关键模块，对其光机模块的光学性能要求极其严苛，主要体现在洁净度指标和装校后的光机模块反射镜表面的面形畸变PV值上。其中洁净度指标主要体现在装配过程的洁净度闭环的管控，面形畸变PV值主要体现在装校工艺过程的控制上。随着激光输出能力的不断提高，对反射镜的生产的质量控制也越来越要求高，对整个精密装校工艺过程中的人、机、料、法、环、测等六大方面也需要得到重要保证。1大口径反射镜紧密装校工艺的质量控制要素分析根据反射镜的装校工艺要求，梳理了反射镜的装校工艺流程及相关流程的质量控制要素，如图1所示。图1大口径反射镜装校工艺流程及质量控制要素分析图2大口径反射镜精密装校工艺过程质量控制内容DOI:10.19566/j.cnki.cn35-1285/tq.2022.12.107192易聪之：大口径反射镜精密装校工艺过程的质量管控基于上述工艺流程及质量控制要素分析，反射镜装校工艺质量控制归纳为操作人员控制、设备操作规范控制要求、装校工艺过程控制、装校工艺环境控制等四个方面，其质量控制要素归纳与分解框架如图2所示。2反射镜装校工艺质量管控要求2.1操作人员控制要求反射镜元件装校工艺涉及光、机、控、测等多学科交叉专业，属于精密洁净装配与检测范围，其操作人员专业技能培训、操作人员协同及其洁净防护要求均需要进行约定。2.1.1操作人员装校技能培训针对反射镜装校作业人员，应具备光、机、电的综合装校能力，能够完成装配、校对、检测等工作所需设置的光学元件、机械元件等各个工艺环节实行的工艺规程和测量数据的准确性。激光聚变研究中心针对精密装校操作人员，先后需要开展光学知识培训、面形检测专业知识培训、精密设备操作培训、...
