2023年第1期化学工程与装备2023年1月ChemicalEngineering&Equipment41超纯水洁净氮气的用量潘海关1,2，杜晶晶1,2，程建香1,2（1．爱环吴世（苏州）环保股份有限公司；2．江苏省绿色功能型水处理剂工程技术研究中心，江苏苏州215011）摘要：近年来，某国不断对我国半导体产业进行制裁和打压，一直卡脖子的芯片被推上了风口浪尖，也让我们意识到核心科技要掌握在自己手上。而超纯水的生产对于半导体的生产过程起到至关重要的作用。超纯水的制造过程尤为精确，每一个环节容不得出现任何问题。精致的超纯水需要超洁净的氮气进行密封，与外界空气隔绝。本次研究主要针对超纯水使用的洁净氮气的用量进行研究。大大降低洁净氮气的使用量，从而降低运行成本。关键词：半导体；超纯水；洁净氮气；微调比例阀1技术领域本研究方向涉及半导体行业生产过程中用到的超纯水系统。其中针对终端超纯水的密闭封存，与空气进行隔绝，采用高纯氮气。为了降低氮气用量从而降低运行成本。包括系统工艺、控制逻辑方面进行相关研究。对半导体的研制、生产减少成本，以至于对大量的电子产品起到降低成本的作用。2技术背景超纯水系统是现在半导体生产上使用非常重要的设备，由于在工业生产上对超纯水的使用量非常大，一般的小型超纯水机并不能满足要求，而超纯水系统在这种时候就是用来提供大量生产用水。在半导体行业生产制造过程中，由于电子设备对冲洗用水中金属离子的含量要求非常高，必然需要增加使用CEDI电渗析技术才能将水中金属离子去除掉。然而电渗析生产的产品水，水质可达到17.5MΩ·cm以上，已经属于高纯纯水，如果与空气接触，水质会瞬间下降。这就需要对于电渗析的产水进行封存，与空气隔绝，隔绝用的氮气纯水需＞99.999%。后面再将此部分的水净化成超高纯度的超纯水。3详细内容3.1工艺说明超纯水系统总体来说一般可分为三个部分：超纯水制备区；超纯水密闭封存区；超纯水输送系统。超纯水的制备过程是很复杂很重要的部分，由如下几个部分组成：前处理系统、脱盐纯化处理系统、精致超纯水系统。前处理系统主要包括：多介质过滤器、活性炭过滤器、脱盐纯化处理系统主要包括：阴阳离子交换塔、脱炭酸塔、精密过滤器、以及双级逆渗透系统。精致超纯水系统主要包括：脱氧脱碳工艺系统、TOC及UV杀菌系统、核子级混合床及终端超滤过滤系统。在向工艺生产车间设备输送超纯水的环节中，输送的管道对水质有污染影响，需要考虑在车间生产区再设置二级抛光混床系统，及终端...
