张长春副教授zhangcc@njupt.edu.cn集成电路技术简介©2014NJUPT2Confidentiall集成电路与微电子微电子广义与狭义材料与物理器件与工艺电路与系统集成电路设计工艺电路系统工具©2014NJUPT3Confidentiall内容集成电路的出现集成电路的产业分工集成电路的分类集成电路的设计集成电路制造集成电路的封装集成电路的测试©2014NJUPT4Confidentiall电子管vs.晶体管•最早的电子计算机18000个电子管,1500个继电器,占地150m2,重30吨,耗电140kW©2014NJUPT5Confidentiall电子管vs.晶体管©2014NJUPT6Confidentiall分立vs集成©2014NJUPT7Confidentiall第一个晶体管JohnBardeenWilliamBradfordShockleyWalterHouserBrattain第一个晶体管1947年12月23日贝尔实验室©2014NJUPT8Confidentiall1958年第一块集成电路:12个器件,Ge晶片Kilby,TI公司2000年诺贝尔物理奖第一块集成电路©2014NJUPT9Confidentiall摩尔定律IC上可容纳的晶体管数目,约每18个月便会增加一倍,性能也提升一倍微米时代3um->2um->1.2um->亚微米时代0.8um->0.5um->深亚微米时代0.35um->0.25um->0.18um->0.13um->纳米时代90nm->65nm->45nm->32nm©2014NJUPT10Confidentiall集成电路的尺寸©2014NJUPT11ConfidentiallUSB闪存汽车电子音响设备DVD播放器手机电视游戏机视频电话流媒体高清影像各种IC相关产品无处不在©2014NJUPT12Confidentiall3C概念其他,729.7,22%计算机类,1329.4,40%通信类,613.4,18%消费类,669.5,20%集成电路市场按整机应用划分,可分为计算机类、消费类、通信类等不同类别。这三类占了整个市场的78%。集成电路市场产品构成©2014NJUPT13Confidentiall内容集成电路的出现集成电路的产业分工集成电路的分类集成电路的设计集成电路制造集成电路的封装集成电路的测试©2014NJUPT14Confidentiall产业链整机系统提出应用需求集成电路设计•计算机与网络、通信(有线、无线、光通信、卫星通信)•数字音视频(电视机、视盘机DVD、MP3播放器、音响……)•IC卡(身份认证)与电子标签、汽车电子、生物电子、工业自动化…•EDA工具、服务器、个人计算机(PC)、工程技术人员……集成电路制造•厂房、动力、材料(硅片、化合物半导体材料)、专用设备、仪器(光刻机、刻蚀机、注入机…©2014NJUPT15Confidentiall集成电路封装集成电路测试•划片机、粘片机、键合机、包封机、切筋打弯机、芯片、塑封料、引线框架、金丝………•测试设备、测试程序、测试...