机械|证券研究报告—行业跟踪2019年7月26日相关行业研究报告《半导体设备国产化专题四》2019-06-24《半导体设备国产化专题三》2019-06-10《半导体设备国产化专题二》2019-05-19《半导体设备国产化专题一》2019-05-10《半导体设备行业跟踪：从ASML、台积电季报看半导体及其设备行业周期底部确立，5G、AI、IoT等开启新一轮半导体大周期》2019-04-21《科创新秀之中微半导体——国际半导体设备产业界公认的后起之秀》2019-04-09《科创新秀之安集微电子——打破国外垄断，实现CMP抛光液和光刻胶去除剂等集成电路领域关键材料国产化》2019-04-09《半导体设备行业跟踪：SemiconChina展会新产品层出，国产集成电路工艺设备正在发力》2019-03-24《半导体设备行业跟踪：盛美半导体2018年业绩翻倍增长，印证集成电路工艺设备国产化提速》2019-03-11《半导体设备行业跟踪：7/5nm制程、存储周期性、5G应用支撑半导体及设备行业2019年先抑后扬》2019-02-15中银国际证券股份有限公司具备证券投资咨询业务资格[Table_Industry]机械:半导体设备[Table_Analyser]杨绍辉(8621)20328569shaohui.yang@bocichina.com证券投资咨询业务证书编号：S1300514080001[Table_Title]科创板之:芯源微致力于光刻工序涂胶显影设备国产化[Table_Summary]沈阳芯源微电子成立于2002年，与中微半导体、北方华创、盛美半导体、上海睿励等同样耕耘10多年，致力于集成电路工艺设备国产化。公司是国内唯一一家研发与制造涂胶显影设备的企业，目前已有前道I-line涂胶显影机已在长江存储上线进行工艺验证，前道Barc（抗反射层）涂胶设备在已在上海华力上线测试应用，涂胶显影设备的进口替代已经起航。国内集成电路工艺设备企业中，芯源微电子是定位于涂胶显影设备的唯一厂商。沈阳芯源微电子成立于2002年，和睿励、安集微电子、盛美半导体、上海微、中微半导体、北方微等老牌国产半导体设备制造商一样，诞生于同一个时代，至今已有17年经营历史和技术积淀。2016-2018年，公司分别实现主营业务收入1.44亿元、1.84亿元、2.01亿元，分别实现净利润0.05亿元、0.26亿元、0.30亿元，呈现良好发展势头。涂胶显影设备占收入的主要部分覆盖国内外主流客户。公司主要为集成电路、LED芯片等下游客户，提供光刻工序涂胶显影设备或单片式湿法设备。2018年公司总收入中，涂胶显影设备占比61%，单片式湿法设备占比34.3%。公司集成电路客户主要包括台积电、华虹半导体、长江存储、华天科技、长电科技、通富微...
