第４２卷第３期２０２３年６月电子显微学报ＪｏｕｒｎａｌｏｆＣｈｉｎｅｓｅＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙＳｏｃｉｅｔｙＶｏｌ４２，Ｎｏ３２０２３⁃０６文章编号：１０００－６２８１（２０２３）０３－０３３８－１４电解双喷制备多组元合金的ＴＥＭ薄膜姜贝贝１，董勇２，钟紫珊２，吴焱学１，林微甜１（１．广东工业大学分析测试中心，广东广州５１０００６；２．广东工业大学材料与能源学院，广东广州５１０００６）摘要电解双喷减薄／抛光技术是制备金属类ＴＥＭ薄膜最常用的方法。获得表面光亮清洁，中心穿孔，绕穿孔边缘有较大薄区的优质ＴＥＭ薄片则需要合适的电解双喷参数。本文利用电解双喷仪制备多组元合金的ＴＥＭ薄片，包括ＦｅＣｒＮｉ系奥氏体不锈钢，模具钢，ＡｌＦｅＣｒＮｉ（Ｃｏ／Ｗ／Ｖ／Ｃｕ）系的高熵合金，并通过光学和透射电镜观察穿孔情况和材料内部析出相、成分分布、相界面原子分布、位错等信息，探讨电解双喷过程中电解液的成分、温度，电解双喷的参数（电压／电流、流速）和样品厚度等对双喷效果的影响。总结了各种材料最佳的电解双喷参数，对于具有复杂析出相的钢，需采用不同的电解液来实现ＴＥＭ薄片的制备。而新型高熵合金则需要调试温度、电压／电流等参数，来获得清晰的两相共格界面，并避免腐蚀产物的干扰。关键词电解双喷；ＴＥＭ薄膜；钢；高熵合金中图分类号：ＴＢ３１；ＴＧ１７５文献标识码：Ｂｄｏｉ：１０３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００－６２８１２０２３０３００９收稿日期：２０２２－０１－０７；修订日期：２０２２－０２－２８基金项目：广东工业大学大型仪器设备开放基金（Ｎｏ．ＡＴＣ２０２１３０２）；广州市科技计划项目（Ｎｏ．２０２１０２０２１１２３）；广东省基础与应用基础研究基金（Ｎｏ．２０１９Ａ１５１５１１００５１）；大学生创新训练项目（Ｎｏ．ｘｊ２０２１１１８４５８８９）．作者简介：姜贝贝（１９９１－），女（汉族），山东人，博士．Ｅ⁃ｍａｉｌ：ｊｉａｎｇｂｅｉｂｅｉ＠ｇｄｕｔ．ｅｄｕ．ｃｎ透射电镜已日益普遍地应用于材料的研究工作。在透射电镜中，高能入射电子束穿过样品，在透射过程中遇到晶界、析出相／基体界面、孪晶界、位错等缺陷处发生衍射。为了揭示这些晶体缺陷，这就要求样品必须非常薄，大约３００ｎｍ以下［１－２］。随着球差校正电镜等的发展，高分辨分析、ＥＤＳ和ＥＥＬＳ方法为了减少分析时背底的影响和提...
