第60卷第4期微纳电子技术Vol.60No.42023年4月MicronanoelectronicTechnologyApril2023■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■加工、测量与设备DOI:10.13250/j.cnki.wndz.2023.04.015收稿日期:2022-11-28基金项目:国家青年基金资助项目(61904122);山西省回国留学人员科研资助项目(2022-071)通信作者:孙永娇氧化镨纳米材料的制备及其对环己酮的气敏性能王宝霞,王世贞,侯煜晨,孙永娇(太原理工大学信息与计算机学院纳米能源与器件实验室,太原030600)摘要:采用水热法制备了氧化镨(Pr6O11)纳米材料,通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线能量色散谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对所制备微结构的形貌、化学组分和晶体结构进行了表征。分析结果表明,制备的Pr6O11颗粒多为边长(280±42.9)nm的正四面体纯相纳米结构。制备了基于Pr6O11纳米材料的气体传感器,并测试了其对环己酮的气敏性能。测试结果表明,在最佳工作温度(约240℃)下,Pr6O11气体传感器对体积分数为5×10-5的环己酮的响应度可达10.5,响应和恢复时间分别为35和74s。同时,随着检测环境相对湿度的增加,Pr6O11气体传感器的响应度有所下降,但仍然具备良好的环己酮检测能力,证明其在复杂环境中低浓度环己酮检测领域具有巨大的潜力。关键词:纳米材料;水热法;Pr6O11;气体传感器;环己酮中图分类号:TB383;TP212文献标识码:A文章编号:1671-4776(2023)04-0602-07PreparationandGasSensingPropertiestoCyclohexanoneofPr6O11NanomaterialWangBaoxia,WangShizhen,HouYuchen,SunYongjiao(LaboratoryofNanoEnergyandDevices,CollegeofInformationandComputer,TaiyuanUniversityofTechnology,Taiyuan030600,China)Abstract:Praseodymiumoxide(Pr6O11)nanomaterialwaspreparedbyahydrothermalmethod.Themorphology,chemicalcompositionsandcrystallinestructurewerecharacterizedbythefieldemissionscanningelectronmicroscope(FESEM),X-rayenergydispersivespectroscope(EDS)andX-raydiffractometer(XRD).Theanalysisresultsindicatethattheas-preparedPr6O11nanoparticlesaremostlyregulartetrahedralpurephasenanostructureswithsidelengthof(280±42.9)nm.ThegassensorbasedonPr6O11nanostructurewasfabricated,andthegassensingpropertiestocyclohexanonewerestudied.Themeasurementresultsshowthattheresponsecanreach10.5tocyclohexanonewithavolumefractionof5×10-5atitsoptimumoperatingte...
