中华人民共和国国家标准GB/T14600一93电子工业用气体氧化亚氮Gasesforelectronicindustry-Nitrousoxide1主题内容与适用范围本标准规定了电子工业用气体—瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮存与运输要求。本标准适用于硝酸钱热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。分子式:N20相对分子质量;44.01(按1989年国际相对原子质量)2}I用标准GB190危险货物包装标志GB3723工业用化学产品采样通则GB5099钢制无缝气瓶GB5832.1气体中微量水分的测定电解法GB5832.2气体中微量水分的测定露点法GB6680液体化工产品采样通则GB7144气瓶颜色标志GB7230气体检测管装置GB7445氢气GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定气相色谱法GB10624高纯氛GB/T14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法3技术亲件氧化亚氮产品的质量应符合表1要求。表1项目指标氧化亚氮纯度，10-,)氨含量110_6(二氧化碳含量,10-s(一氧化碳含量,10-0簇99.9974521国家技术监仔局1993一as一26批准1994一07一01实施GB/'r14600一93续表1项目指标烃CG--C(以甲烷计)含量,1os蕊氮含量,10蕊氧含量10-0一氧化氮含量.10“镇二氧化氮含量.10-s〔水含量,10-fi1102113注:纯度及杂质含量均以体积分数表示。4检验方法4.1采样方法采样时将样品钢瓶倒置。采取液相样品，液态样经气化后用导管与仪器直接连接。测定氧、氮、水、二氧化碳、一氧化碳和烃采用金属管，测定氨、一氧化氮和二氧化氮采用聚四氟乙烯管作为采样导管。4.2纯度氧化亚氮产品的纯度，用体积分数表示，按式(1)计算:T=100一(9,十R十仍十9}4+叽+几+仍+R+"y)X10-"····”·(1>式中:，一氧化亚氮纯度,10-2;仍—氨含量,10-`;4'—二氧化碳含量,10-`;妈—一氧化碳含量，10-6;A-烃C,-C,(以甲烷计)含量,10-61毋—氮含量，10-6;丹—氧含量,10-b;9r—一氧化氮含量.10-b;外—二氧化氮含量11。一‘;升一水含量，10-1,4.3盆含f的测定4.3.1方法提要采用填装有澳酚蓝(或其他等效)显色剂的检测管来测定氧化亚氮中的氨。检测极限:0.5X10-1(V/V),4.3.2设备及材料a.不锈钢针形阀。b.聚四氟乙烯管。c.氨检测管:测量范围(2^-30)X10-`(V/V)ad.流量计:测量范围0^200mL/min,4.3.3操作步骤4.3.3.1把不锈钢针形阀装在样品钢瓶出口处。4.3.3.2用导管将流量计与针形阀连接起来。·4.3.3.3将预先倒置的样品钢瓶阀门打开，用氧化亚氮气体充分置换系统，待能取到代表样后，将检测管连接在流量计出...
