技术交流玻璃基板性能对TFT-LCD面板TP的影响HELiu,MINJiao,LUShiyin,LIGang巨大[1-2]TP英文totalpitch，中文含义是全面积尺寸，何流闵蛟隆陆仕银李纲（成都中光电科技有限公司成都611731）摘要平板显示技术不断更新迭代，TFT-LCD技术是目前市场上显示器使用的主流显示技术。TFT-LCD面板生产中关于TP不稳定的反馈也非常频繁，尤其是随着显示面板技术升级，图形精度要求越来越高，TP的问题日益突出。通过实验，从玻璃基板的密度、膨胀系数、再热收缩率等物理性能角度，研究玻璃基板的性能对TP的影响。关键词玻璃基板；TP；密度；膨胀系数；再热收缩率中图分类号：TQ171文献标识码：A文章编号：1003-1987（2023）06-0029-06TheInfluenceoftheGlassSubstratePropertiesontheTPControlofTFT-LCD(ChengduCOEOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.,Chengdu611731,China)Abstract:Flat-paneldisplaytechnologyisconstantlyupdatedgeneration.TFT-LCDtechnologyisthemainstreamdisplaytechnologyusedinthemarket.ThefeedbackoftheTPinstabilityofTFT-LCDproductionisalsoveryfrequent.Bytheupgradeofdisplaypaneltechnology,therequirementofgraphprecisionishigherandhigher.TheproblemofTPbecomesmoreandmoreprominent.TheeffectoftheperformanceofglasssubstrateonTPisstudiedfromthephysicalpropertiesofglasssubstratesuchasdensity,coefficientofthermalexpansionandthermalshrinkagebyexperiments.KeyWords:glasssubstrate,TP,density,coefficientofthermalexpansion,thermalshrinkage0引言TFT-LCD玻璃基板是显示面板的关键材料，主要用作薄膜晶体管（TFT）阵列的底板和彩色滤光片（CF）的底板。基板玻璃作为显示器的重要组成部分，对显示器性能的影响2110值1-2-3图1两两批次玻璃基板TP值（以DX值表示）的比较在TFT-LCD面板制程中，TP用来表示成膜图形与设计值的偏差[3]O图1是面板厂使用的两批次玻璃基板的TP值（以DX值表示）的比较。S01S03作者简介：何流（1976-），男，四川成都人，本科，工程师，主要从事平板显示玻璃基板技术开发与研究、玻璃理化性能检测。29全国性建材科技期刊一一《玻璃》可以看出S01批次的TP值较小且较稳定，S03批次的TP值较大且不稳定。检测发现，S03批次的电测不良率较高，进一步在显微镜下分析发现，该批次产品镀膜后有较多的不规则灰斑和牛顿环，如图2所示。面板厂在经过分析后认为，这些不良现象可能与玻璃基板的性能有关...
