2023年第5期仪表技术与传感器InstrumentTechniqueandSensor2023No．5基金项目:陕西省重点研发计划项目(2021GY－323，2021GY－348，2022GY－257)收稿日期:2022－10－24分布式质量块结构高g值加速度传感器仿真分析王鹏1，2，3，杨雨君1，陈曼龙1，2，王楠1，2，杨帆1，2，梁应选1，2，张昌明1，2，3，彭春雷1，2，韩继科1(1．陕西理工大学机械工程学院，陕西汉中723001;2．陕西省工业自动化重点实验室，陕西汉中723001;3．起落架及飞机结构件加工检测陕西省高校工程研究中心，陕西汉中723001)摘要:针对航空航天、机电、石油等领域的高g值加速度监测需求，设计了一种分布式质量块结构的压阻式加速度传感器。运用敏感性分析和响应面方法对敏感结构模型优化，同时提升结构的固有频率和灵敏度;研究所构建模型在不同方向加速度作用下的应力分布特点，设计抗交叉干扰的传感器信号检测电路;分析结构的加工流程及封装工艺，有利于下一步制造应用。仿真结果表明:该传感器的量程为100000g，灵敏度为2．18μV/g，一阶固有频率为157．82kHz，理论上消除了横向交叉干扰，有效提升了传感器的性能。关键词:高g值;分布式质量块结构;加速度计;有限元仿真中图分类号:TP212文献标识码:A文章编号:1002－1841(2023)05－0019－06SimulationAnalysisofDistributedMassBlockStructureforHighg-valueAccelerometerWANGPeng1，2，3，YANGYu-jun1，CHENMan-long1，2，WANGNan1，2，YANGFan1，2，LIANGYing-xuan1，2，ZHANGChang-ming1，2，3，PENGChun-lei1，2，HANJi-ke1(1．SchoolofMechanicalEngineering，ShaanxiUniversityofTechnology，Hanzhong723001，China;2．ShaanxiKeyLaboratoryofIndustrialAutomation，Hanzhong723001，China;3．EngineeringＲesearchCenterofManufacturingandTestingforLandingGearandAircraftStructuralParts，UniversitiesofShaanxiProvince，Hanzhong723001，China)Abstract:Apiezoresistiveaccelerometerwithdistributedmassblockstructurewasdesignedtomeetthemonitordemandofhighg-valueaccelerationtestinthefieldsofaerospace，electromechanicalandpetroleum．Sensitivityanalysisandresponsesurfacemethodwereusedtooptimizethesensitivestructuremodelandimprovethenaturalfrequencyandsensitivityofthestructure．Thestressdistributioncharacteristicsofthemodelunderdifferentaccelerationdirectionswerestudiedandthesensorsignald...
