收稿日期：２０２２－０５－２４．基金项目：国家重点研发计划项目（２０１９ＹＦＢ１８０２９００）；中兴通讯研究基金．＊通信作者：庄语迪Ｅ－ｍａｉｌ：ｙｕｄｉ．ｚｈｕａｎｇ＠ｓｊｔｕ．ｅｄｕ．ｃｎ材料、结构及工艺ＤＯＩ：１０．１６８１８／ｊ．ｉｓｓｎ１００１－５８６８．２０２２０５２４０２面向光背板应用的低损耗单模聚合物光波导技术研究庄语迪１＊，石莹１，汤宁峰２，３，魏晓强２，何祖源１（１．上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室，上海２００２４０；２．中兴通讯股份有限公司，广东深圳５１８０５５；３．移动网络和移动多媒体技术国家重点实验室，广东深圳５１８０５５）摘要：系统地开展了基于光刻及湿法显影工艺制备的聚合物光波导散射损耗的理论及实验研究。研究了包括粗糙度、波导尺寸和工作波长等主要参数对散射损耗的影响，采用激光共聚焦显微镜测量了光波导侧壁及上下表面的粗糙度。实验结果表明，波导侧壁的平均粗糙度约为６０ｎｍ，是上下表面粗糙度的３倍。因此，散射损耗主要由侧壁粗糙引起，其大小是上下表面粗糙引入散射损耗的９倍。基于上述理论及实验结果，通过优化波导设计，制备了工作于１３１０ｎｍ波长、平均损耗为０．３５ｄＢ／ｃｍ的低损耗单模聚合物光波导，其作为高速高密度光背板的关键传输介质具有良好的应用前景。关键词：光互连；聚合物波导；散射损耗中图分类号：ＴＮ２５２文章编号：１００１－５８６８（２０２２）０６－１１４２－０６ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＬｏｗＬｏｓｓＳｉｎｇｌｅ－ｍｏｄｅＰｏｌｙｍｅｒＷａｖｅｇｕｉｄｅｓｆｏｒＯｐｔｉｃａｌＢａｃｋｐｌａｎｅＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓＺＨＵＡＮＧＹｕｄｉ１，ＳＨＩＹｉｎｇ１，ＴＡＮＧＮｉｎｇｆｅｎｇ２，３，ＷＥＩＸｉａｏｑｉａｎｇ２，ＨＥＺｕｙｕａｎ１（１．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＯｐｔｉｃａｌＣｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎＳｙｓｔｅｍｓａｎｄＮｅｔｗｏｒｋｓ，ＳｈａｎｇｈａｉＪｉａｏＴｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２００２４０，ＣＨＮ；２．ＺＴＥＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ，Ｓｈｅｎｚｈｅｎ５１８０５５，ＣＨＮ；３．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｏｂｉｌｅＮｅｔｗｏｒｋａｎｄＭｏｂｉｌｅＭｕｌｔｉｍｅｄｉａＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｈｅｎｚｈｅｎ５１８０５５，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈ...
