文章编号：1002-2082(2023)01-0226-08螺旋形塑料光纤表面等离子体共振折射率传感器徐跃1,3,4，薛鹏2,3,4，张瑞1,3,4，陈媛媛1,4（1.中北大学信息与通信工程学院，山西太原030051；2.中北大学电气与控制工程学院，山西太原030051；3.中北大学前沿交叉科学研究院，山西太原030051；4.山西省光电信息与仪器工程技术研究中心，山西太原030051）摘要：研究了基于波长调制的螺旋形塑料光纤（plasticopticalfiber,POF）表面等离子体共振（surfaceplasmonresonance,SPR）折射率传感器。采用机械热压和扭曲法将塑料光纤制备成螺旋形，在螺旋形POF上通过磁控溅射蒸镀一定厚度（约50nm）的金属薄膜来激励SPR效应，从而形成螺旋形POF-SPR传感器。通过对螺旋形POF-SPR传感器的结构进行修饰，研究不同结构参数对折射率传感特性的影响。实验结果表明：由厚度为500μm扁平形POF扭制、螺纹数为4的螺旋形POF-SPR传感器具有较好的线性度和折射率传感特性，在折射率为1.335~1.400范围内测得的灵敏度为1262nm/RIU。该传感器具有成本较低、制备简单、结构稳定等优点。关键词：塑料光纤；螺旋形；折射率传感；表面等离子体共振中图分类号：TN253;O433.4文献标志码：ADOI：10.5768/JAO202344.0108002Plasmonresonancerefractiveindexsensorofspiral-shapedplasticopticalfibersurfaceXUYue1,3,4，XUEPeng2,3,4，ZHANGRui1,3,4，CHENYuanyuan1,4（1.SchoolofInformationandCommunicationEngineering,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051,China；2.SchoolofElectricalandControlEngineering,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051,China；3.InstituteofFrontierandInterdisciplinaryScience,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051,China；4.ShanxiProvinceOptoelectronicInformationandInstrumentEngineeringTechnologyResearchCenter,Taiyuan030051,China）Abstract：Aspiral-shapedplasticopticalfiber(POF)surfaceplasmonresonance(SPR)refractiveindexsensorbasedonwavelengthmodulationwasstudied.First,theplasticopticalfiberwaspreparedintoaspiralbymechanicalhotpressinganddeformingmethod,andthenametalfilmwithacertainthickness(about50nm)wasdepositedonthespiral-shapedPOFbymagnetronsputteringtostimulatetheSPReffect,therebyformingaspiral-shapedPOF-SPRsensor.Bymodifyingthestructureofthespiral-shapedPOF-SPRsensor,theeffectsofdifferentstructur...
