第２９卷第２期计算机集成制造系统Ｖｏｌ．２９Ｎｏ．２２０２３年２月ＣｏｍｐｕｔｅｒＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＳｙｓｔｅｍｓＦｅｂ．２０２３ＤＯＩ：１０．１３１９６／ｊ．ｃｉｍｓ．２０２３．０２．０１９收稿日期：２０２０－１２－１４；修订日期：２０２１－０４－１８。Ｒｅｃｅｉｖｅｄ１４Ｄｅｃ．２０２０；ａｃｃｅｐｔｅｄ１８Ａｐｒ．２０２１．基金项目：国家自然科学基金资助项目（７１４０１１６４）；中国博士后科学基金资助项目（２０１８Ｍ６４２３６７）。Ｆｏｕｎｄａｔｉｏｎｉｔｅｍｓ：ＰｒｏｊｅｃｔｓｕｐｐｏｒｔｅｄｂｙｔｈｅＮａｔｉｏｎａｌＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＦｏｕｎｄａｔｉｏｎ，Ｃｈｉｎａ（Ｎｏ．７１４０１１６４），ａｎｄｔｈｅＣｈｉｎａＰｏｓｔｄｏｃｔｏｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＦｏｕｎｄａｔｉｏｎ，Ｃｈｉｎａ（Ｎｏ．２０１８Ｍ６４２３６７）．考虑工件释放时间和柔性维护的单机调度问题李小林，司佳佳，尹传传，李玉鹏（中国矿业大学矿业工程学院，江苏徐州２２１１１６）摘要：针对晶圆制造过程中考虑清洗维护的生产调度联合优化问题，以最小化最大完工时间为求解目标，优化工件加工顺序及维护活动执行时间。证明了该问题为ＮＰ难的，建立了问题的整数规划模型并进行线性化。结合机器役龄约束下的成批调度问题特征，证明了解的性质，并设计ＥＲＤ－ＬＰＴ－ＢＦＬＤ启发式算法对问题进行求解。构建了考虑工件释放时间及清洁活动约束的下界算法。通过不同规模算例仿真实验，将所提启发式算法与ＣＰＬＥＸ及下界算法求解结果进行比较，验证了所提算法的有效性。关键词：单机调度；晶圆清洗；柔性维护；释放时间；启发式算法中图分类号：ＴＰ３０１文献标识码：ＡＳｉｎｇｌｅ－ｍａｃｈｉｎｅｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇｐｒｏｂｌｅｍｃｏｎｓｉｄｅｒｉｎｇｊｏｂｓ’ｒｅｌｅａｓｅｔｉｍｅｓａｎｄｆｌｅｘｉｂｌｅｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅｓＬＩＸｉａｏｌｉｎ，ＳＩＪｉａｊｉａ，ＹＩＮＣｈｕａｎｃｈｕａｎ，ＬＩＹｕｐｅｎｇ（ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｉｎｅｓ，ＣｈｉｎａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＭｉｎｉｎｇａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｘｕｚｈｏｕ２２１１１６，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｊｏｉｎｔｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｐｒｏｂｌｅｍｏｆｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇｃｏｎｓｉｄｅｒｉｎｇｃｌｅａｎｉ...
