收稿日期:2022-08-22氪氖电子混合气体中杂质含量的测定李帅楠，倪珊珊，殷越玲，李旭［中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司，河北邯郸057550］摘要:建立了一种氪氖电子混合气体中微量H2、O2、N2、CH4、CF4、CO、CO2的分析方法。采用多阀切割和多色谱柱分离的氦离子化气相色谱仪一次进样实现了氪氖电子混合气体中杂质的分离检测。经过方法验证，证明该方法能够达到较高的准确度和精密度。关键词:氪氖电子混合气体;脉冲氦离子检测器中图分类号:O657．7文献标志码:A文章编号:1007-7804(2023)01-0037-03doi:10.3969/j.issn.1007-7804.2023.01.011DeterminationofImpurityContentinKrypton-neonElectronGasMixtureLIShuainan，NIShanshan，YINYueling，LIXu(PEＲICSpecialGasesCo．，Ltd．，Handan057550，China)Abstract:PresentsamethodforthedeterminationoftraceamountsofH2、O2、N2、CH4、CF4、CO、CO2inkrypton-neonelec-trongasmixture．Aheliumionizationgaschromatographwithmulti-valvecuttingandmulti-columnseparationwasusedtorealizetheseparationanddetectionofimpuritiesinkrypton-neonelectrongasmixture．Throughtheverificationofthemeth-od，itisprovedthatthemethodcanachievehighaccuracyandprecision．Keywords:krypton-neonelectrongasmixture;pulsedheliumiondetector1前言电子混合气体广泛用于大规模集成电路、超大规模集成电路和半导体器件生产中。氪氖混合气体中某些杂质会直接影响激光器的性能，特别是O2、H2O、CxHy等杂质会导致激光放电不稳定、激光功率损失等后果。混合气体中微量O2和H2O容易使半导体器件表面生成氧化物薄膜，直接造成器件性能变差、寿命变短;而碳氢化合物、碳氟化合物杂质则会造成半导体器件的电化学参数漏电。因此，建立一种灵敏度高，检出限低的分析技术是检测杂质的重要手段。氦离子化气相色谱法具有灵敏度高、检出限低等优点［1-2］，对比其它检测器优势较明显。YaoWei-jun［3］建立了采用氦离子化检测器对常用的纯气体中杂质进行检测的方法;曾素芳采用阀切割系统，解决了稀有气体杂质分析问题［4］。由于混合气体的种类繁多，不同的基体和杂质需采用不同的分析方法进行分析，本文通过配置阀切割和多根色谱柱，设定切割程序来满足对(5～7)N纯度的氪氖混合气体的分析要求。2实验方法本方法中使用的氦离子化脉冲放电检测器灵敏度高，满足分析氪氖混合气体中微量杂质组分的要求。氪氖混合气体中主成分...
