文章编号：1002-2082(2023)01-0122-06基于轻量化校准反射镜的旋转平移干涉绝对检验技术第五蔻蔻，高志山，刘威剑，车啸宇，马燚岑，范筱昕，袁群（南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏南京210094）摘要：光学干涉绝对检验技术能够实现参考面和待测面面形的有效分离，是对干涉仪进行精度标定的有效手段。面向大口径平面干涉仪的校准需求，旋转平移法仅需一块透射平晶和一块反射平晶，避免了额外加工第3块平晶的成本和难度。但随着口径的增大，自重和支撑使得反射平晶在平移和旋转多种状态下的变形较大，继而影响绝对检验精度。提出设计轻量化的校准反射镜作为反射平晶，采用旋转平移法实现大口径干涉仪的绝对检验。以Φ1500mm平面干涉仪作为标定需求，采用碳化硅作为校准反射镜材料，以三角形轻量化结构和6点背部支撑方式进行轻量化设计，控制其质量仅为93kg，支撑和重力引入的面形变形PV值为9.75nm。将变形面形叠加至PV值λ/4、不同分布的加工面形进行旋转平移绝对检验仿真计算，对旋转对称程度低且包含较多高频成分的面形，检验精度为λ/30；而对分布平滑对称的面形，检验精度可达到λ/50。因此，为了实现对于大口径平面干涉仪λ/50精度的标定目标，要求碳化硅校准反射镜加工面形PV值低于λ/4,尽量避免高频成分,旋转对称程度高。关键词：绝对检验；旋转平移；轻量化；重力变形中图分类号：TN214;O436文献标志码：ADOI：10.5768/JAO202344.0103002AbsolutetesttechnologyforrotationandtranslationinterferencebasedonlightweightcalibrationmirrorDIWUKoukou，GAOZhishan，LIUWeijian，CHEXiaoyu，MAYicen，FANXiaoxin，YUANQun（SchoolofElectronicandOpticalEngineering,NanjingUniversityofScienceandTechnology,Nanjing210094,China）Abstract：Theopticalinterferenceabsolutetesttechnologycanseparatethesurfacefiguresofthereferenceplaneaswellasthetestedoptics,anditisaneffectivemeanstocalibratetheaccuracyoftheinterferometer.Forthecalibrationrequirementsoflarge-apertureplaneinterferometer,therotationtranslationmethodonlyrequiresonetransmissionflatandonereflectiveflat,whichavoidsthecostanddifficultyofprocessinganadditionalflat.However,withtheincreaseofthecaliber,theweightandsupportmakethedeformationofthereflectiveflatlargerinvariousstatesoftranslationandrotation,andthenaffecttheabsolutetes...
