2022年第46卷第10期101PartsandApplicationS器件与应用文献引用格式：王坤博，周瑜，刘超，等.基于光纤传声器的振膜声压灵敏度测试方法［J］.电声技术，2022，46（10）：101-106.WANGKB，ZHOUY，LIUC，etal.Testmethodfordiaphragmsoundpressuresensitivitybasedonthefiberopticmicrophone［J］.AudioEngineering，2022，46（10）：101-106.中图分类号：TN641文献标识码：ADOI：10.16311/j.audioe.2022.10.029基于光纤传声器的振膜声压灵敏度测试方法王坤博，周瑜，刘超，魏晓村（中国电子科技集团公司第三研究所，北京100015）摘要：提出一种振膜声压灵敏度测试方法，通过法布里-珀罗干涉式光纤传声器系统，可有效得到振膜声压灵敏度。在理论分析中，应用多光束干涉法进行建模，分析得到振膜声压灵敏度受传声器性能参数的影响关系。应用激光测振仪和提出的测试方法对镍膜的声压灵敏度进行测试，验证了所提测试方法的准确性。最后应用所提出的测试方法测试了小尺寸的微机电（MicroElectroMechanicalSystem，MEMS）振膜。基于光纤传声器的振膜声压灵敏度测试方法为振膜的选用和高性能传声器的研制奠定了基础。关键词：振膜；灵敏度；光纤传声器TestMethodforDiaphragmSoundPressureSensitivityBasedontheFiberOpticMicrophoneWANGKunbo,ZHOUYu,LIUChao,WEIXiaocun(TheThirdResearchInstituteofChinaElectronicsTechnologyGroupCorporation,Beijing100015,China)Abstract:ThispaperproposesakindoftestmethodfordiaphragmsoundpressuresensitivitybasedontheFabryPerotinterferometricfiberopticmicrophone.Inthetheoreticalanalysis,theopticalmodelisestablishedwithmethodofmulti-beamsinterference,andtheinfluenceofthemicrophoneparameterstothesensitivityofthediaphragmisachieved.Theacousticpressuresensitivityofnickelmembraneistestedbylaservibrometerandthemethodofthispaper,whichverifiestheaccuracyofthismethod.Inthelast,theacousticpressuresensitivityofMicroElectroMechanicalSystem(MEMS)membraneistestedbythemethodbasedonthefiberopticmicrophone.TheTestmethodfordiaphragmsoundpressuresensitivitybasedonthefiberopticmicrophonelaysaresearchfoundationfortheselectionofdiaphragmandthedevelopmentofhighperformancemicrophone.Keywords:diaphragm;sensitive;fiberopticmicrophone0引言传声器是感受声音信号的传感器...
