2023年2月贵金属Feb.2023第44卷第1期PreciousMetalsVol.44,No.1收稿日期：2022-04-12基金项目：云南省创新引导与科技型企业培育计划(202104AR040017)；云南省重点研发计划(202203ZA080001)；云南省重点研发计划(202203ZA080001)第一作者：王献，男，硕士，助理工程师；研究方向：贵金属高温合金；E-mail：wangxian@ipm.com.cn*通信作者：蔡宏中，男，博士，正高级工程师；研究方向：贵金属材料；E-mail：chz@ipm.com.cnIr/HfO2复合涂层的制备及性能研究王献，魏燕，蔡宏中*，汪星强，张贵学，胡昌义(昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明650106)摘要：利用化学气相沉积(CVD)技术制备了HfO2涂层和Ir/HfO2复合涂层，采用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)对涂层的性能进行分析。结果表明：在沉积Ir时，沉积室升温速率≤10℃/min时，制备出的Ir/HfO2复合涂层经真空高温热处理后可获得表面质量良好的Ir层，且Ir层纯度达到99.77%；真空热处理有益于提高Ir/HfO2复合涂层之间的结合程度，且热处理温度越高，结合效果越好；表面制备有HfO2涂层的Ir棒在1980℃氧化10h的条件下，HfO2涂层对Ir的保护效果显著，可将Ir的氧化深度由毫米级降至数十微米。关键词：化学气相沉积；Ir/HfO2复合涂层；氧化性能中图分类号：TG146.3+4文献标识码：A文章编号：1004-0676(2023)01-0001-06PreparationandpropertiesofIr/HfO2compositecoatingsWANGXian,WEIYan,CAIHongzhong*,WANGXingqiang,ZHANGGuixue,HUChangyi(StateKeyLaboratoryofAdvancedTechnologiesforComprehensiveUtilizationofPlatinumMetals,KunmingInstituteofPreciousMetals,Kunming650106,China)Abstract:HfO2coatingsandIr/HfO2compositecoatingsarepreparedbychemicalvapordeposition(CVD).Thepropertiesofthecoatingsareanalyzedbyopticalmicroscopy(OM),scanningelectronmicroscopy(SEM)andelectronprobemicroanalysis(EPMA).TheresultsshowthatagoodsurfacequalityonIr/HfO2compositecoatingcanstillbemaintainedafterheattreatmentwhentheheatingrateofthedepositionchamberislessthan10℃/min,andthepurityofIrlayercanreach99.77%.VacuumheattreatmentisbeneficialtoimprovethebondingdegreebetweenIr/HfO2compositecoatings,andthebondingeffectincreaseswiththeriseofheattreatmenttemperature.WhenIrrodwithHfO2coatingonthesurfacewasoxidizedat1980°Cfor1...
