第４９卷第２期２０２３年３月光学技术ＯＰＴＩＣＡＬＴＥＣＨＮＩＱＵＥＶｏｌ．４９Ｎｏ．２Ｍａｒｃｈ２０２３文章编号：１００２－１５８２（２０２３）０２－０１６８－０７Ａｌ基反射膜的激光损伤阈值研究刘涛１，朱华新１，２＊，曹建军１，２，胡立发１，２，章汪维１，陈晓家１（１．江南大学理学院，江苏无锡２１４１２２）（２．江苏省轻工光电工程技术研究中心，江苏无锡２１４１２２）摘要：为研究金属Ａｌ保护、单周期及双周期增强反射膜在５ｎｓ脉宽的５３２ｎｍ激光器下的激光损伤阈值（ＬＩＤＴ），采用Ｃｏｍｓｏｌ软件进行仿真及分析，仿真过程引入ＳｉＯ２和Ｔａ２Ｏ５的拉伸强度（膜层断裂应力）作为阈值条件，得到三种膜系的损伤阈值分别为０．３１８Ｊ／ｃｍ２、１．３２５Ｊ／ｃｍ２和３．３８２Ｊ／ｃｍ２，通过搭建实验平台进行激光阈值测试，采用１－ｏｎ－１模式，选取５０％概率的激光损伤点作为损伤阈值，测得激光功率分别为０．２８８Ｊ／ｃｍ２、１．２３２Ｊ／ｃｍ２及３．１５２Ｊ／ｃｍ２，与仿真结果较为接近，说明采用拉伸强度分析的该类模型更符合实际损伤，为此类膜系在实际应用中阈值的预测提供了理论基础。关键词：反射膜；激光损伤；拉伸强度中图分类号：Ｏ４８４文献标识码：ＡＳｔｕｄｙｏｎＬａｓｅｒｉｎｄｕｃｔｉｏｎｄａｍａｇｅｔｈｒｅｓｈｏｌｄｏｆＡｌ－ｂａｓｅｄｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅｆｉｌｍｓＬＩＵＴａｏ１，ＺＨＵＨｕａｘｉｎ１，２＊，ＣＡＯＪｉａｎｊｕｎ１，２，ＨＵＬｉｆａ１，２，ＺＨＡＮＧＷａｎｇｗｅｉ１，ＣＨＥＮＸｉａｏｊｉａ１（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＪｉａｎｇｎａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｗｕｘｉ２１４１２２，Ｃｈｉｎａ）（２．ＪｉａｎｇｓｕＰｒｏｖｉｎｃｅＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＬｉｇｈｔＩｎｄｕｓｔｒｙＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＲｅｓｅａｒｃｈ，Ｗｕｘｉ２１４１２２，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｓｔｕｄｙｔｈｅｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｔｉｏｎｄａｍａｇｅｔｈｒｅｓｈｏｌｄ（ＬＩＤＴ）ｏｆｍｅｔａｌＡｌ－ｐｒｏｔｅｃｔｅｄ，ｓｉｎｇｌｅ－ｐｅｒｉｏｄａｎｄｄｏｕｂｌｅ－ｐｅｒｉｏｄｅｎｈａｎｃｅｄｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅｆｉｌｍｓｕｎｄｅｒ５３２ｎｍｌａｓｅｒｗｉｔｈ５ｎｓｐｕｌｓｅｗｉｄｔｈ，Ｃｏｍｓｏｌｓｏｆｔｗ...
