收稿日期：２０２２－０９－０８．基金项目：国家重点研发计划项目（２０２０ＹＦＢ２００８９０１）；安徽省发改委研发创新项目（ＪＺ２０２１ＡＦＫＪ００５０）；安徽省工程技术研究中心项目（ＰＡ２０２２ＡＫＧＹ００１２）；中央高校基本科研业务费专项项目（ＪＺ２０２１ＨＧＱＡ０２５４，ＪＺ２０２１ＨＧＴＡ０１４７）．＊通信作者：许高斌Ｅ－ｍａｉｌ：ｇｂｘｕ＠ｈｆｕｔ．ｅｄｕ．ｃｎＭＥＭＳ和ＭＯＥＭＳ技术专题ＤＯＩ：１０．１６８１８／ｊ．ｉｓｓｎ１００１－５８６８．２０２２０９０８０１ＭＥＭＳ加速度计在振动环境下的可靠性分析李明珠，许高斌＊，董娜娜，袁婷，马渊明，冯建国（合肥工业大学微电子学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心，合肥２３０００９）摘要：以电容式ＭＥＭＳ加速度计的悬臂梁结构为研究对象，分析了振动环境下ＭＥＭＳ加速度计的典型失效模式及失效机理；在Ｍｉｎｅｒ理论的基础上，引入了应力－寿命曲线，建立了疲劳可靠性模型；在考虑强度退化前提下，基于应力强度干涉理论建立了塑性形变可靠性模型；运用蒙特卡洛法验证了两种可靠性模型的准确性，并分析了模型关键参数对可靠度的影响。结果显示，振动应力水平和材料的屈服强度对可靠度有显著的影响，减小应力幅值，增大屈服强度，可以提高ＭＥＭＳ加速度计的可靠性。关键词：ＭＥＭＳ加速度计；悬臂梁；疲劳失效；塑性形变；蒙特卡洛法；可靠性中图分类号：ＴＮ４０６文章编号：１００１－５８６８（２０２２）０６－１０５５－０７ＲｅｌｉａｂｉｌｉｔｙＡｎａｌｙｓｉｓｏｆＭＥＭＳＡｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｉｎＶｉｂｒａｔｉｏｎＥｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔＬＩＭｉｎｇｚｈｕ，ＸＵＧａｏｂｉｎ，ＤＯＮＧＮａｎａ，ＹＵＡＮＴｉｎｇ，ＭＡＹｕａｎｍｉｎｇ，ＦＥＮＧＪｉａｎｇｕｏ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＡｎｈｕｉＰｒｏｖｉｎｃｅ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈｅｆｅｉ２３０００９，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴａｋｉｎｇｔｈｅｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｃａｐａｃｉｔｉｖｅＭＥＭＳａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒａｓｔｈｅｒｅｓｅａｒｃｈｏｂｊｅｃｔ，ｔｈｅｔｙｐｉｃａｌｆａｉｌ...
