XJIPC中国科学院新疆理化技术研究所XINJIANGTECHNICALINSTITUTEOFPHYSICSANDCHEMISTRY,CAS首届全国辐射探测微电子学术年会NME’2017重离子辐照对深亚微米MOS器件栅介质可靠性影响的研究1马腾2017年10月13日,北京·高能所中国科学院新疆理化技术研究所XJIPC中国科学院新疆理化技术研究所XINJIANGTECHNICALINSTITUTEOFPHYSICSANDCHEMISTRY,CAS首届全国辐射探测微电子学术年会NME’2017汇报提纲研究背景与意义实验简介实验结果机理分析总结2XJIPC中国科学院新疆理化技术研究所XINJIANGTECHNICALINSTITUTEOFPHYSICSANDCHEMISTRY,CAS首届全国辐射探测微电子学术年会NME’2017随着科学技术的发展,微电子器件在航空航天、军事、能源领域广泛应用研究背景与意义研究背景与意义3高性能,低功耗的微纳米器件在该...