收稿日期：２０２２－１２－０８．基金项目：国家自然科学基金项目（６１８７４１０５）；重庆市技术创新与应用发展专项重点项目（ｃｓｔｃ２０２１ｊｓｃｘ－ｇｋｓｂＸ００４５）．＊通信作者：余华Ｅ－ｍａｉｌ：ｙｕｈｕａ＠ｃｑｕ．ｅｄｕ．ｃｎＭＥＭＳ和ＭＯＥＭＳ技术专题ＤＯＩ：１０．１６８１８／ｊ．ｉｓｓｎ１００１－５８６８．２０２２１２０８０２高速铌酸锂电光调制器研究进展陆锦东，匡作鑫，陈伟，余华＊（重庆大学光电工程学院重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室，重庆４０００４４）摘要：薄膜铌酸锂调制器因其小尺寸、高带宽、低半波电压等优点，成为近年来业内关注的热点。文章梳理了铌酸锂电光调制器的波导结构、电极结构及偏置点控制技术三个方面的相关研究进展，分析了平面掩埋、脊型、光子晶体等三种不同结构波导的调制器性能，讨论了铌酸锂调制器集总和行波两种电极结构的特点及其设计考量因素，对比了电光调制器偏置点控制中功率法和导频法的优缺点及其相关研究成果。在此基础上，进一步分析了为实现更小体积与更高带宽铌酸锂调制器所需的关键技术以及未来的研究方向。关键词：铌酸锂；电光调制器；光子晶体波导；行波电极；偏置点控制中图分类号：Ｏ４３６文章编号：１００１－５８６８（２０２２）０６－１０２９－１１ＲｅｓｅａｒｃｈＰｒｏｇｒｅｓｓｏｆＨｉｇｈ－ｓｐｅｅｄＬｉｔｈｉｕｍＮｉｏｂａｔｅＥｌｅｃｔｒｏ－ｏｐｔｉｃＭｏｄｕｌａｔｏｒＬＵＪｉｎｄｏｎｇ，ＫＵＡＮＧＺｕｏｘｉｎ，ＣＨＥＮＷｅｉ，ＹＵＨｕａ（ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ＆Ｓｙｓｔｅｍ，ＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ，ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００４４，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｉｎｆｉｌｍＬｉＮｂＯ３ｍｏｄｕｌａｔｏｒｈａｓｂｅｃｏｍｅａｈｏｔｓｐｏｔｉｎｔｈｅｉｎｄｕｓｔｒｙｉｎｒｅｃｅｎｔｙｅａｒｓｂｅｃａｕｓｅｏｆｉｔｓｓｍａｌｌｓｉｚｅ，ｈｉｇｈｂａｎｄｗｉｄｔｈ，ｌｏｗｈａｌｆｗａｖｅｖｏｌｔａｇｅａｎｄｏｔｈｅｒａｄｖａｎｔａｇｅｓ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｔｈｅｒｅｓｅａｒｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｏｎｗａｖｅｇｕｉｄｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅ...
