请务必阅读正文之后的免责条款部分[Table_MainInfo][Table_Title]2019.04.11国内存储芯片的设备供应链格局解析——以长江存储为例韦钰（分析师）黄琨（分析师）021-38032029021-38674935weiyu@gtjas.comhuangkun010844@gtjas.com证书编号S0880519010002S0880513080005本报告导读：以长江存储的高频公示数据为例，探究刻蚀设备、成膜设备、清洗设备、量测设备等的国产设备厂商供应格局。摘要：[Table_Summary]结论：我们认为，包括长江存储在内的存储器/代工厂将于2019-2020年陆续进入设备采购与搬入的高峰阶段，而国内设备厂商已经在多个核心设备细分领域实现拓展。重点推荐：北方华创、精测电子、长川科技、至纯科技；受益标的：中微公司（科创板）、盛美半导体（纳斯达克）。以长江存储的设备供应数据来分析国内存储芯片的设备供应格局，具有较强代表意义：①长江存储是目前国内投资规模、规划产能最高的存储器项目，处于稳步爬坡过程中；②回顾2018年，该项目对国产设备支持力度较大；展望2019年，根据产业调研，项目已进入第二阶段20K产能爬坡期，处于设备采购与搬入的高峰阶段。而我们从近期的招投标数据中，也可对这一结论做充分验证；③因此，我们采用了长江存储的高频公示数据，并尽力排除意向订单、真实合同与设备进场三者之间存在的时间差，以及demo机和框架合同等不确定因素的扰动，对设备供应链进行分析。北方华创、中微公司等设备厂商加速实现供应：①刻蚀设备：中微公司在第二阶段采购中，机台市占率达到16%，略有提升，主要为硅通孔TSV及介质刻蚀CCP设备，后续有望持续放量；而北方华创的硅槽刻蚀设备开始进入供应链，后续有望贡献较大增量；②成膜设备：整体国产化率较低，为2%左右。但其中北方华创的AlPadPVD有较强优势，后续重点关注铜互连PVD的验证进程；而沈阳拓荆的PECVD竞争力较强，在第二阶段占有率略有提升；③清洗设备：第一阶段中盛美半导体市占率约18%、北方华创市占率约5%；第二阶段盛美保持20%以上的机台市占率，在单片清洗领域有较大优势。盛美的新品已于1月份出货，判断其未来清洗设备市占率有望持续提升；④氧化/退火设备：目前北方华创的炉管设备已成为国内主流厂商扩散氧化炉的首选，机台市占率30%以上。而Mattson的快速热退火RTP设备市场份额全球领先，具有较明显的竞争优势，未来二者将直接受益订单放量；⑤量测设备：睿励科仪实现了薄膜测量系统的供应，中科飞测实现了光学表面三维形貌量测设备的供应；后者...
