第38卷第10期2023年10月Vol.38No.10Oct.2023液晶与显示ChineseJournalofLiquidCrystalsandDisplaysMicro-LED器件：从极性c面到非极性或半极性的发展趋势王麒1，杨波波1*，李威晨1，邹军1，2*，杨雪舟3，徐华4，钱麒5，陈俊锋6，李杨7（1.上海应用技术大学理学院，上海201418；2.浙江安贝新材料股份有限公司，浙江湖州313000；3.宁波朗格照明电器有限公司，浙江宁波315000；4.广东皇智照明科技有限公司，广东中山528400；5.惠创科技（台州）有限公司，浙江台州318000；6.浙江绿龙新材料有限公司，浙江海宁314419；7.西双版纳承启科技有限公司，云南西双版纳666100）摘要：氮化镓作为第三代照明器件材料相较于第一代硅与第二代砷化镓在性能上有了很大提高，基于氮化镓的Micro-LED器件也愈发被人们所关注。然而由于在传统c面上生长的LED其自身所固有的一些缺陷往往在实际应用中发射效率不高，如存在量子限制斯塔克效应、绿色间隙、载流子传输等问题。基于非极性或半极性的LED没有极化电场，具有较强的内量子效率，电子和空穴复合机率大等优点，对非极性和半极性Micro-LED器件的研究与应用引起了人们很大的兴趣。本文对非极性和半极性Micro-LED器件研究现状进行综述。首先从量子限制斯托克效应、绿色间隙、载流子传输、效率下降4个方面介绍了非极性和半极性氮化镓基材料的优势。接着针对缺陷位错、增加光提取效率与在不同电流密度下实现全彩显示等问题，介绍了芯片成形、图案刻蚀与阵列这3种技术，最后对Micro-LED作为下一代显示引领者进行了展望。希望对Micro-LED今后的研究有所帮助。关键词：氮化镓；Micro-LED；非极性；半极性中图分类号：TN315；TN383+.1文献标识码：Adoi：10.37188/CJLCD.2023-0205文章编号：1007-2780（2023）10-1347-14收稿日期：2023-06-06；修订日期：2023-07-22.基金项目：国家重点研发计划（No.2021YFB3501700）；上海市“科技创新行动计划”农业科技领域项目（No.22N21900400，No.23N21900100）；国家自然科学基金青年科学基金项目（No.12104311）；上海应用技术大学中青年教师科技人才发展基金（No.ZQ2022-3）SupportedbyNationalKeyR&DProgramofChina（No.2021YFB3501700）；ShanghaiScienceandTech‑nologyCommittee（STCSM）ScienceandTechnologyInnovationProgram（No.22N21900400，No.23N21900100）；NationalNaturalScienceFoundationofChina（No.12104311）；ScienceandTechnologyTalentDevelopmentFundforYoungan...
