收稿日期：2022-10-28第37卷第6期2022年12月光电技术应用ELECTRO-OPTICTECHNOLOGYAPPLICATIONVol.37，No.6December，2022硒化锌（ZnSe）作为高功率激光器常用的红外窗口材料，在0.5~20μm波段有高且均匀的光学透过率，并且具有热膨胀小、光学吸收低、导热性好、机械强度高等特性[1-2]。但是目前还没有单一材料基底可以满足窗口片应具备的光学性能、机械性能和化学性能，需要对窗口材料进行镀膜[3-5]。近几年国内开始对硒化锌基底红外增透膜展开研究。2006年，林炳[6]等人采用离子辅助技术，在7.8~10.6μm波段实现平均透过率达到98%以上。2010年，潘永强[7]等人采用热蒸发技术，在2~16μm波段实现平均透过率达到93%以上。2021年，何光宗[8]等人以硫化锌、硒化锌、氟化镱为材料，在7.5~10.5μm波段透过率达到98%以上，在0.633μm处的透过率为71.7%。但是对于近红外波段以硒化锌为基底的增透膜研究很少，文中研究在短中波红外多波段具有高透过率的增透膜。1技术参数根据设备的技术需求确定增透膜的技术参数如表1所示。表1增透膜技术指标波段/μm0.8080.8800.9153.7~4.810.6指标T＞91%T＞91%T＞91%T＞95%T＞95%·光学设计·硒化锌基底多波段红外增透膜的研究陈星聿，关冉昀，张守立，孙宏宇，程伟宁（中国电子科技集团公司光电研究院，天津）摘要：为了满足光电设备窗口片的使用要求，设计了一种以硒化锌为基底的多波段红外增透膜。为了达到多波段增透的目的，选取硫化锌、氟化镱分别作为高、低折射率材料，在硒化锌基底前后表面镀制相同的多波段红外增透膜。最终实现0.808μm、0.880μm、0.915μm处透过率在91%以上，3.7~4.8μm和10.6μm处透过率在95%以上，并且膜层具有良好耐环境适应性。关键词：光学薄膜；红外增透膜；多波段；硒化锌中图分类号：O484文献标识码：A文章编号：1673-1255（2022）-06-0018-04StudyofMulti-bandInfraredAntireflectionCoatingsonZincSelenideSubstrateCHENXingyu，GUANRanyun，ZHANGShouli，SUNHongyu，CHENGWeining(AcademyofOpto-Electronics,ChinaElectronicsTechnologyGroupCorporation(AOECETC),Tianjin,China)Abstract:Inordertomeettherequirementsofoptoelectronicdevicesfortheuseofwindows,amulti-bandinfraredantireflectioncoatingbasedonzincselenideisdesigned.Inordertoachievethepurposeofmulti-bandanti-reflection,zincsulfideandytterbiumfluorideareselectedashighandlowrefractiveindexmaterials...
