收稿日期：２０２２－０７－１９．基金项目：技术基础科研项目（Ｊ００６７－１９２２－ＦＪＣ）．＊通信作者：米良Ｅ－ｍａｉｌ：ｍｉｂｏｌｔ＠ｆｏｘｍａｉｌ．ｃｏｍ光电器件ＤＯＩ：１０．１６８１８／ｊ．ｉｓｓｎ１００１－５８６８．２０２２０７１９０２位置敏感探测器光斑脱靶误差补偿方法研究李鑫，米良＊（中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，成都６１００００）摘要：为了提高位置敏感探测器（ＰＳＤ）的位置检测范围，解决光斑在探测器光敏面脱靶时无法准确定位光斑的问题，提出一种光斑脱靶误差补偿方法，分析了脱靶前后ＰＳＤ检测光斑能量重心变化规律，建立了ＰＳＤ光强信号与位置检测误差间的函数关系。实验结果表明：当ＰＳＤ光敏面尺寸为１２ｍｍ×１２ｍｍ时，对于半径为５ｍｍ的高斯光斑，通过所提出的光斑补偿方案补偿后ＰＳＤ的Ｘ轴检测范围提高了６６．７％，位置检测平均相对误差不超过５％，该方法对提高ＰＳＤ位置检测性能具有重要的意义。关键词：测量；位置敏感探测器；高斯光斑；误差补偿中图分类号：ＴＮ２４７文章编号：１００１－５８６８（２０２２）０６－１１３６－０６ＳｔｕｄｙｏｎＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄｏｆＬｉｇｈｔＳｐｏｔＯｆｆ－ｔａｒｇｅｔＥｒｒｏｒｏｆＰｏｓｉｔｉｏｎＳｅｎｓｉｔｉｖｅＤｅｔｅｃｔｏｒＬＩＸｉｎ，ＭＩＬｉａｎｇ（ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭａｃｈｉｎｅｒｙＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＰｈｙｓｉｃｓ，Ｃｈｅｎｇｄｕ６１００００，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｅｘｔｅｎｄｔｈｅｄｅｔｅｃｔｉｏｎｒａｎｇｅｏｆｐｏｓｉｔｉｏｎｓｅｎｓｉｔｉｖｅｄｅｔｅｃｔｏｒ，ａｎｄｓｏｌｖｅｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｔｈａｔｔｈｅｌｉｇｈｔｓｐｏｔｃａｎｎｏｔｂｅａｃｃｕｒａｔｅｌｙｐｏｓｉｔｉｏｎｅｄｗｈｅｎｔｈｅｌｉｇｈｔｓｐｏｔｉｓｏｆｆ－ｔａｒｇｅｔｏｎｔｈｅＰＳＤｐｈｏｔｏｓｅｎｓｉｔｉｖｅｓｕｒｆａｃｅ，ａｌｉｇｈｔｓｐｏｔｏｆｆ－ｔａｒｇｅｔｅｒｒｏｒｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．ＴｈｅｖａｒｉａｔｉｏｎｌａｗｏｆｔｈｅｓｐｏｔｅｎｅｒｇｙｃｅｎｔｅｒｏｆＰＳＤｄｅｔｅｃｔｉｏｎｂｅｆｏｒｅａｎｄａｆｔｅｒｔｈｅｏｆｆ－ｔａｒｇｅｔｗａｓａｎａｌｙｚｅｄ，ａｎｄｔｈｅ...
