6电子技术第52卷第2期（总第555期）2023年2月Electronics电子学干涉合成孔径激光雷达完成了对基础设施监视实验[13]。国内经过十余年的发展,开展了机载原理性验证试验，完成了单个光斑激光频段合成孔径成像试验,验证了SAL相干成像的技术体制,但受限于激光衍射极限,无法实现大幅宽成像[14]。为了解决单个光斑观测视场受限的难题,本文设计了一种混合集成的1×4阵列平衡光电探测器，采用共基混合集成技术将阵列平衡探测集成芯片、温控电路、射频电路在多通道差分电路基板上集成，其中阵列平衡探测集成芯片由阵列平衡探测器芯片与阵列跨阻放大0引言随着平衡光电探测技术的发展,由于其具有共模噪声抑制特性,可以消除本征激光器的相对强度噪声和二极管自身噪声,从而提升接收信噪比[1],相较于直接激光探测技术,其探测接收灵敏度提高了20dB左右[2],在空间激光通信[3-5]、光纤通信[6]、合成孔径激光雷达（SAL）[7-9]、光谱检测[10]、量子信息[11]等领域得到广泛应用，其中在合成孔径激光雷达领域方面,美国洛克希德马丁相干技术中心在1km距离得到了二维SAL图像[12]；2014年,美国Turbide采用作者简介：周浪，重庆光电技术研究所；研究方向：电子器件设计。收稿日期：2022-12-27；修回日期：2023-02-12。摘要：针对合成孔径激光雷达中单个光斑观测视场受限的难题，设计了一种由阵列平衡探测器芯片和阵列跨组放大器芯片混合集成的1×4阵列平衡光电探测器。阵列平衡探测器芯片采用4对背照式InP-InGaAs平衡光电二极管单片集成的内平衡结构，降低芯片寄生电容，提高器件的响应频率和一致性。通过倒装集成工艺将阵列平衡探测器芯片和阵列跨组放大器芯片进行集成，缩减像元间距，扩大成像视场。搭建测试系统对进行探测器性能评测，结果显示，其有效像元率达到100%，共模抑制比为33dB，3dB带宽为102MHz，等效噪声功率密度为2.0pW/Hz1/2，增益实现三档可调，整体输出增益一致性为99%，满足合成孔径激光雷达大幅宽成像需求。关键词：异质结构集成，平衡光电探测器，阵列，合成孔径激光雷达。中图分类号：TN929.1，TP368.1，TP212文章编号：1000-0755(2023)02-0006-03文献引用格式：周浪，崔大健，黄晓峰，任丽，陈伟，董绪丰，彭正鑫，严银林.一种混合集成1×4阵列平衡光电探测器的设计[J].电子技术,2023,52(02):6-8.一种混合集成1×4阵列平衡光电探测器的设计周浪，崔大健，黄晓峰，任丽，陈伟，董绪丰，彭正鑫，严银林（重庆光电技术研究所，重庆400060）Abstract—Toso...
