第４３卷第３期２０２３年３月物理实验ＰＨＹＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮＶｏｌ．４３Ｎｏ．３Ｍａｒ．，■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■２０２３收稿日期：２０２２－１２－１９；修改日期：２０２３－０２－１３基金项目：北京航空航天大学研究生教育与发展研究专项基金资助（Ｎｏ．ＪＧ２０２２０１７）；北京高校本科教学改革创新项目资助（Ｎｏ．２０２２１０００６００３）作者简介：钟晓岚（１９８６－），女，北京人，北京航空航天大学物理学院副教授，博士，研究方向为光子－电子－离子耦合与多功能物态调控．Ｅ－ｍａｉｌ：ｚｈｏｎｇｘｌ＠ｂｕａａ．ｅｄｕ．ｃｎ通信作者：金硕（１９７６－），女，辽宁鞍山人，北京航空航天大学物理学院教授，博士，研究方向为金属材料缺陷物理．Ｅ－ｍａｉｌ：ｊｉｎｓｈｕｏ＠ｂｕａａ．ｅｄｕ．ｃｎ文章编号：１００５－４６４２（２０２３）０３－００２２－０７劳埃德式紫外激光干涉光刻实验钟晓岚，宋佳奇，李晓苗，姚旭，严琪琪，金硕（北京航空航天大学物理学院，北京１００１９１）摘要：搭建了劳埃德式紫外激光干涉光刻系统，利用劳埃德镜产生双光束分波阵面干涉，通过精确调整、控制光束的入射角，设计了曝光图样．基础实验部分可以完成一维光栅制备，分析光栅周期与波长、入射角的关系；在拓展实验中，制备设计部分可以完成二维点阵或准晶结构制备，前沿拓展部分可以制备表面等离极化激元微腔．基于劳埃德式激光干涉光刻实验操作便捷、展示度高，同时涵盖光干涉原理的介绍和光路调整、样品制备和表征等实验内容，有助于学生掌握激光干涉光刻的实验技能．关键词：劳埃德镜；紫外激光干涉；激光光刻；微纳米技术中图分类号：ＴＮ３０５．７；Ｏ４３６．１文献标识码：ＡＤＯＩ：１０．１９６５５／ｊ．ｃｎｋｉ．１００５－４６４２．２０２３．０３．００３光与物质强耦合相互作用是新兴且极具应用前景的操控物态的方法［１］．当光学微腔与粒子发生超快能量交换产生拉比劈裂时，系统进入强耦合状态，形成２个新的激子极化激元态：｜Ｐ＋〉和｜Ｐ－〉，是具有量子特点的非局域纠缠态，拥有光子和物质的双重特性，这种杂化态的存在可以改变载流子的输运性质、调节功函数、实现超低阈值的激子极化激元激射、提高非辐射能量转移效率、操控基态化学反应等．因此，探索光与物质强耦合相互作用及其对新奇物态调...
