第２９卷第３期功能材料与器件学报Ｖｏｌ.２９，Ｎｏ.３２０２３年６月ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＦＵＮＣＴＩＯＮＡＬＭＡＴＥＲＩＡＬＳＡＮＤＤＥＶＩＣＥＳＪｕｎ．，２０２３文章编号：１００７–４２５２（２０２３）０３–０００３–１４１ＤＯＩ：１０．２００２７／ｊ．ｇｎｃｑ．２０２３．００２７收稿日期：２０２３－０５－１８；修订日期：２０２３－０６－０８基金项目：２０２２宁东能源化工基地重点支持领域科技项目，ＮＯ２－ＮＨ３电化学片式气体传感器芯片的研究与中试开发，项目编号２０２２ＮＤＫＪ０００１．作者简介：郭元元（１９９９－），女，硕士研究生，研究方向为半导体气敏传感器。Ｅ－ｍａｉｌ：１６９３２１２８７０＠ｑｑ．ｃｏｍ．通信作者：郑晓虹（１９９１－），女，讲师，理学博士，主要研究方向为气体传感器。（Ｅ－ｍａｉｌ：ｚｈｅｎｇｘｉａｏｈｏｎｇ＠ｓｉｔ．ｅｄｕ．ｃｎ）介孔金属氧化物半导体ＮＯｘ气体传感器研究进展郭元元，蒋楚宁，郑晓虹∗（上海应用技术大学材料科学与工程学院，上海２０１４１８）摘要：由氮氧化物引起的环境污染一直是一个非常严峻的问题，我们需要利用气体传感器对氮氧化物进行检测以便预防和解决污染问题。金属氧化物半导体式气体传感器受到科研学者的广泛关注。大量实验数据表明，制备具有介孔结构的半导体材料，将会提升传感器在工作温度、气体检测限、稳定性和选择性等方面的性能。本文将从响应机理、性能参数和影响因素方面对金属氧化物半导体式气体传感器进行简要介绍并具体综述了具有介孔结构的钨基、锌基和锡基ＮＯｘ气体传感器的研究现状。关键词：金属氧化物半导体；气体传感器；氮氧化物；介孔结构；气敏性能中图分类号：ＴＰ２１２．２文献标志码：ＡＲｅｓｅａｒｃｈＰｒｏｇｒｅｓｓｏｆＭｅｓｏｐｏｒｏｕｓＭｅｔａｌＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＮＯｘＧａｓＳｅｎｓｏｒｓＧＵＯＹｕａｎ－Ｙｕａｎ１，ＪＩＡＮＧＣｈｕ－Ｎｉｎｇ２，ＺＨＥＮＧＸｉａｏ－Ｈｏｎｇ１，∗（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓｓｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０１４１８，Ｃｈｉｎａ；２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓｓｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０１...
