（总第300期）电子工业专用设备EquipmentforElectronicProductsManufacturingEEPMJun．2023收稿日期：2023-04-19不同腔体结构对优化等离子灰化效果探究刘晓玲(中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原030024)摘要：为了提高低压等离子灰化工艺的均匀性指标，通过对不同光刻胶灰化工艺效果进行采集分析，针对圆柱形石英工艺腔进行参数优化，着重分析了腔体结构与灰化效果的关系，分别通过ANSYS软件仿真及实际工艺验证，归纳出工艺腔体结构与灰化工艺片内均匀性之间的关系，得出符合工业生产要求均匀性指标的腔体结构参数。关键词：等离子灰化；灰化速率；灰化均匀性中图分类号：TN304.05文献标志码：B文章编号：1004-4507(2023)03-0005-06OptimumExplorationforPlasmaAshingEffectofDifferentChambersStructuresLIUXiaoling(The2ndResearchInstituteofCETC，Taiyuan030024，China)Abstract:Inordertoimprovetheuniformityindexoflow-pressureplasmaashingprocess，thispapercollectsandanalyzestheashingprocesseffectsofdifferentphotoresists，optimizestheparametersofcylindricalquartzprocesschambers，focusesonanalyzingtherelationshipbetweencavitystructureandashingeffect，andsummarizestherelationshipbetweenprocesschambers'structureandin-chipuniformityofashingprocessthroughANSYSsoftwaresimulationandactualprocessverificationThechamberstructureparametersthatmeettheuniformityindexofindustrialproductionrequirementsareobtained.Keywords:Plasmaashing；Ashingrate；Ashinguniformity等离子体（Plasma）是正离子和电子的密度大致相等的电离气体，由离子、电子、自由激进分子、光子以及中性粒子组成[1]；是由部分被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，尺寸大于德拜长度且宏观呈电中性，其运动主要受电磁力支配，并表现出显著的集体行为；是宇宙中物质材料制造工艺与设备5（总第300期）电子工业专用设备EquipmentforElectronicProductsManufacturingEEPMJun．2023的主流存在形态，闪电、星云等均是自然界中典型的等离子态；是固、液、气三态之外物质存在的第四态。人工生成等离子体的方法有加热或气体放电，气体放电更容易实现和实施精确控制。因此工程应用中，等离子体激励方式大多采用气体放电模式。等离子体大致可分为2类。第一类是由高温使分子和原子的动能增高，由分子、原子相互碰撞而引起电离。此时整...
