第43卷第1期2023年3月光电子技术OPTOELECTRONICTECHNOLOGYVol.43No.1Mar.2023铌酸锂薄膜高速电光开关的设计与制备∗唐杰1，2，3，王子彦4，钱坤4，何晓舟4，潘时龙3，王琛全1，2，顾晓文1，2，钱广1，2∗∗，孔月婵1，2，陈堂胜1，2（1.微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室，南京210016；2.南京电子器件研究所，南京210016；3.南京航空航天大学电子信息工程学院，南京211106；4.空军装备部上海局，上海200231）摘要：基于硅基铌酸锂薄膜（LithiumNiobateoninsulator，LNOI）材料平台，设计并制备了高速电光开关芯片，并实现了芯片的光纤耦合、管壳封装和性能测试。测试结果表明，该高速电光开关器件的开关速度达到13.4ns，消光比达到31.8dB。研究工作对未来研制光学延时芯片和波束形成网络芯片具有重要的支撑意义。关键词：铌酸锂薄膜；电光开关；光学波束形成中图分类号:TN256文献标志码:A文章编号:1005⁃488X(2023)01⁃0007⁃04DesignandFabricationofLNOIBasedHigh-speedElectro-opticSwitchTANGJie，WANGZiyan，QIANKun，HEXiaozhou，PANShilong，WANGChenquan，GUXiaowen，QIANGuang，KONGYuechan，CHENTangsheng(1.ScienceandTechnologyonMonolithicIntegratedCircuitsandModulesLaboratory,Nanjing210016,CHN；2.NanjingElectronicDevicesInstitute,Nanjing210016,CHN；3.CollegeofElectronicandInformationEngineering,NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics,Nanjing211106,CHN；4.TheShanghaiBureauofAirForceEquipmentDepartment,Shanghai200231,CHN)Abstract：Anelectro-opticswitchwasdevelopedbasedonthelithiumniobateoninsulator（LNOI）platform.ThestructureoftheLNOIwaveguide，multimodeinterferometer（MMI）couplerandmetalelectrodeswerecarefullydesigned.Thefabricatedelectro-opticswitchchipwascoupledwithopticalfiberarraysandpackagedbyusingmetalshell.Themeasuredon-offswitchtimewaslessthan13.4nsandtheextinctionratiowasabout31.8dB.TheresultsshowedthatLNOIbasedelectro-opticswitchwasanexcellentcandidatefordevelopinghighperformanceintegratedopticalbeamform⁃ingnetworkchipsusedinmicrowavephotonicradars.Keywords：LNOI；electro-opticswitch；opticalbeamformingDOI：10.19453/j.cnki.1005⁃488x.2023.01.002收稿日期：2022-10-14∗基金项目：国家重点研发计划资助项目（2022YFB2802...
