第３６卷第５期２０２３年５月传感技术学报ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＥＮＳＯＲＳＡＮＤＡＣＴＵＡＴＯＲＳＶｏｌ.３６Ｎｏ.５Ｍａｙ２０２３项目来源：陕西省教育厅专项科研计划项目（２２ＪＫ０４０４）；西安工程大学博士启动基金项目（ＢＳ２０１８０３）；中国博士后科学基金（２０２０Ｍ６８３６８２ＸＢ）；陕西省高速公路施工机械重点实验室（３００１０２２５１５０６）收稿日期：２０２２－０５－０７修改日期：２０２２－０９－０１ＳｎＯ２／ＭＷＣＮＴｓ／ＰＶＰＲｅｓｉｓｔａｎｃｅＦｌｅｘｉｂｌｅＨｕｍｉｄｉｔｙＳｅｎｓｏｒＳｔｕｄｙｏｎＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎａｎｄＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓ∗ＧＡＯＸｉｎｇ，ＤＡＩＹａｎｇ∗，ＭＡＸｕｎｍｉｎｇ，ＹＡＯＧｕａｎｇｃｈｕａｎ（ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｘｉ’ａｎＰｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｘｉ’ａｎＳｈａａｎｘｉ７１００４８，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅｈｕｍｉｄｉｔｙｓｅｎｓｏｒｐｌａｙｓａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｒｏｌｅｉｎｗｅａｒａｂｌｅｈｅａｌｔｈｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ．Ｔｈｅｋｅｙｔｏｔｈｅｆｌｅｘｉｂｌｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｓｅｎ⁃ｓｏｒｉｓｔｏｒｅａｓｏｎａｂｌｙｓｅｌｅｃｔｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌａｎｄｐｒｏｃｅｓｓ．Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｒｅａｌｉｚｅｈｉｇｈ⁃ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｈｕｍｉｄｉｔｙｓｅｎｓｏｒｗｉｔｈｆｌｅｘｉｂｌｅｓｕｂｓｔｒａｔｅ，ＳｎＯ２（ｔｉｎｏｘｉｄｅ）／ＣＮＴ（Ｍｕｌｔｉ⁃ｗａｌｌＣａｒｂｏｎＮａｎｏｔｕｂｅ）／ＰＶＰ（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｐｙｒｒｏｌｉｄｏｎｅ）ｈｕｍｉｄｉｔｙｓｅｎｓｏｒａｎｄＣＮＴ／ＰＶＰｈｕｍｉｄｉｔｙｓｅｎｓｏｒａｒｅｐｒｅ⁃ｐａｒｅｄｏｎｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ（ＰＥＴ）ｓｕｂｓｔｒａｔｅｗｉｔｈｆｌｅｘｉｂｌｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅｔｈｒｏｕｇｈｅｌｅｃｔｒｏｓｐｉｎｎｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓ．Ｔｈｅｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ，ｒｅｓｐｏｎｓｅｔｉｍｅａｎｄｏｔｈｅｒｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｔｈｅｔｗｏｓｅｎｓｏｒｓａｒｅｔｅｓｔｅｄｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｓｅｌｆ⁃ｄｅｓｉｇｎｅｄｈｕｍｉｄｉｔｙｇｅｎｅｒａｔｉｏｎａｎｄｔｅｓｔｉｎｇｄｅｖｉｃｅ．Ｔｈｅ...
