磁性材料及器件第54卷第2期2023年3月•95•基于微机电系统(MEMS)的磁通门传感器研究进展许薇1,2，邹旭东1,2，张志红3，彭根斋3，陈嘉民1,2(1.中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室，北京100094；2.中国科学技术大学微电子学院，安徽合肥230026；3.西南应用磁学研究所，四川绵阳621000)摘要：磁通门传感器是由电磁感应效应衍生出来的一类主动式感应变压器，能够感应到外界微弱的直流或低频磁场，因为它在噪声、温度稳定性、磁场分辨率和灵敏度方面的优势，被广泛应用在了定位跟踪、航空航天、地磁探测和电流检测等领域。但现在，各类设备都朝着小型化发展，对磁通门质量、体积、功耗、集成度有了更高的要求，所以磁通门传感器的微型化研究十分必要。微机电(Micro-electro-mechanicalSystem，MEMS)加工为此提供了技术基础。简要分析了磁通门传感器的基本原理，阐述了微型磁通门传感器工艺技术的发展历史，包括微加工技术、PCB技术和MEMS技术。重点总结了MEMS磁通门结构工艺的发展历程以及MEMS正交磁通门发展状况。介绍了MEMS磁通门在相应场合的应用优势与发展状况，并展望了此领域未来的研究重点。关键词：磁通门传感器；MEMS；磁测量；应用中图分类号：TH-39；TP212文献标识码：A文章编号：1001-3830(2023)02-0095-07DOI:10.19594/j.cnki.09.19701.2023.02.017著录格式：许薇,邹旭东,张志红,等.基于微机电系统(MEMS)的磁通门传感器研究进展[J].磁性材料及器件,2023,54(2):95-101.//XUWei,ZOUXu-dong,ZHANGZhi-hong,etal.ResearchprogressoffluxgatesensorsbasedonMEMS[J].JournalofMagneticMaterialsandDevices,2023,54(2):95-101.ResearchprogressoffluxgatesensorsbasedonMEMSXUWei1,2,ZOUXu-dong1,2,ZHANGZhi-hong3,PENGGen-zhai3,CHENJia-min1,21.StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology,AerospaceInformationResearchInstitute,ChineseAcademyofSciences,Beijing100094,China;2.SchoolofMicroelectronics,UniversityofScienceandTechnologyofChina,Hefei230026,China;3.SouthwestInstituteofAppliedMagnetics,Mianyang621000,ChinaAbstract:AsakindofactiveinductiontransformerderivedfromelectromagneticinductioneffectfluxgatesensorcanbeusedtosenseweakDCorlow-frequencymagneticfields.Becauseofitsadvantagesinnoise,temperaturestability,magneticfieldresolutionandsensitivity,ithasbeenwidelyusedinthefieldoflo...
