=================================DOI:10．13290/j．cnki．bdtjs．2023．01．007January2023SemiconductorTechnologyVol．48No．143一种CMOS温度传感器输出误差的数字校正方法于博文1，俞若愚2，尹飞飞1，刘兴辉1，*(1．辽宁大学物理学院，沈阳110036;2．成都华微电子科技股份有限公司，成都610041)摘要:针对CMOS温度传感器模拟校正方法需额外增加校正器件，而数字校正方法存在精度偏低的问题，提出了一种新的适用于CMOS温度传感器的数字校正方法。对CMOS温度传感器的传输函数进行推导，得到温度传感结果与数字电路的关系。根据传输函数，对温度传感器数字电路中的计数器及状态机的参数进行修调，通过改变计数周期个数及计数初值达到校正电路的增益误差及失调误差的目的，得到温度传感器的测温结果。仿真及实测结果表明，采用所提出的校正方法设计的温度传感器，在－55～125℃，测温误差小于1.04℃，满足高精度应用需求。关键词:温度传感器;数字校正;传输函数;计数器;状态机中图分类号:TN792文献标识码:A文章编号:1003－353X(2023)01－0043－05ADigitalCalibrationMethodforOutputErrorofCMOSTemperatureSensorsYuBowen1，YuＲuoyu2，YinFeifei1，LiuXinghui1，*(1．SchoolofPhysics，LiaoningUniversity，Shenyang110036，China;2．ChengduSinoMicroelectronicsTechnologyCo．，Ltd．，Chengdu610041，China)Abstract:ForCMOStemperaturesensor，analogcalibrationmethodrequiresadditionalcorrectiondevices，andthedigitalcalibrationmethodhastheproblemoflowaccuracy．AnewdigitalcorrectionmethodforCMOStemperaturesensorwasproposed．ByderivingthetransferfunctionoftheCMOStem-peraturesensor，therelationshipbetweentemperaturesensingresultandthedigitalcircuitwasobtained．Then，accordingtothetransferfunction，theparametersofcounterandstatemachineindigitalcircuitofthetemperaturesensorwereadjusted．Bychangingthenumberofcountingcyclesandtheinitialvalueofcountingtocorrectthegainerrorandoffseterror，andthetemperaturemeasurementresultsofthetem-peraturesensorwereobtained．Simulationandmeasurementresultsshowthatthetemperaturesensorusingtheproposedcalibrationmethodhasatemperaturemeasurementerrorlessthan1.04℃at－55－125℃，whichcanmeettherequirementsofhighaccuracyapplications．Keywords:tem...
