第45卷第4期（总第361期）电镀与精饰2023年4月基体偏压对H13钢表面镀TiAlCrN薄膜结构和性能的影响覃群，付泽钰，王天国*（湖北汽车工业学院材料科学与工程学院，湖北十堰442002）摘要：为了提高H13模具钢的表面性能和使用寿命，采用多弧离子镀技术在H13模具钢表面制备TiAlCrN薄膜，研究了基体偏压对H13钢表面镀TiAlCrN薄膜结构和性能的影响。结果表明：不同偏压下制备的TiAlCrN涂层表面都有不同大小的颗粒，在偏压为100V时，大颗粒数量最少且均匀细小，涂层表面质量较好。随着偏压增大，制备涂层的TiAlCrN（200）、TiAlCrN（220）衍射峰峰强减弱，TiAlCrN（111）面择优取向变强。随着偏压的增加，TiAlCrN涂层的硬度、结合力都呈先增大后减小趋势。在偏压为100V时，有最大硬度值2650.5HV，最大膜基结合力26N。随着偏压增加，TiAlCrN涂层试样氧化增重率先减少再增加。在偏压为100V时，氧化增重率最低，在此工艺参数下制备的TiAlCrN涂层高温抗氧化性能最佳。在偏压为100V时，制备的TiAlCrN涂层有最小的腐蚀电流密度，耐腐蚀性能最佳。关键词：TiAlCrN薄膜；多弧离子镀；偏压；氧化；耐蚀性中图分类号：TG156.88文献标识码：AEffectofsubstratebiasonstructureandpropertiesofTiAlCrNthinfilmsdepositedonH13steelQinQun，FuZeyu，WangTianguo*（SchoolofMaterialsScienceandEngineering，HubeiUniversityofAutomotiveTechnology，Shiyan442002，China）Abstract：InordertoimprovethesurfacepropertiesandservicelifeofH13diesteel，TiAlCrNfilmwaspreparedonH13diesteelbymulti-arcionplatingtechnology.TheeffectofsubstratebiasonthestructureandpropertiesofTiAlCrNfilmdepositedonH13steelwasstudied.TheresultsshowthattheTiAlCrNcoatingpreparedunderdifferentbiaspressureshasparticlesofdifferentsizesonthesurface.Whenthebiasvoltageis100V，thenumberoflargeparticlesistheleast，andthecoatingsurfacequalityisgood.Withtheincreaseofbiasvoltage，thediffractionpeakintensityofTiAlCrN（200）andTiAlCrN（220）ofthepreparedcoatingdecreases，andthepreferredorientationofTiAlCrN（111）planebecomesstronger.Withtheincreaseofbiasvoltage，thehardnessandadhesionofTiAlCrNcoat‐ingfirstincreaseandthendecrease.Whenthebiasvoltageis100V，themaximumhardnessvalueis2650.5HV，andthemaximumfilm-basedadhesionforceis26N.Withth...
