第60卷第4期微纳电子技术Vol.60No.42023年4月MicronanoelectronicTechnologyApril2023■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■加工、测量与设备DOI:10.13250/j.cnki.wndz.2023.04.016收稿日期:2022-11-10基金项目:山西省自然科学基金面上项目(20210302123157);国家级大学生创新创业训练计划(202110112018)通信作者:李廷鱼MoSe2纳米球结构的制备及其对NO2的气敏性能张向阳,李君,夏滔,熊长军,李廷鱼(太原理工大学信息与计算机学院纳米能源与器件实验室,太原030024)摘要:通过水热法制备了纳米球状MoSe2结构。使用扫描电子显微镜(SEM)对该材料的结构和形貌进行了表征。MoSe2纳米球状结构形貌均匀,其直径为200~300nm。同时,利用叉指电极制作了基于MoSe2的气体传感器,并测试了其气敏性能。测试结果显示:在室温条件下,MoSe2传感器具有优异的气敏性能,能检测到极低体积分数的NO2,对体积分数6×10-8的NO2的响应为1.0064,在空气中也能完全恢复。此外,该传感器还具有良好的响应/恢复特性、重复性、长期稳定性与选择性。最后结合电子转移理论,分析了MoSe2气体传感器对NO2气体的气敏机理。关键词:纳米球结构;气体传感器;水热法;MoSe2;NO2中图分类号:TB383;TP212文献标识码:A文章编号:1671-4776(2023)04-0609-06PreparationofMoSe2NanosphereStructureandTheirGasSensingPropertiesTowardNO2ZhangXiangyang,LiJun,XiaTao,XiongChangjun,LiTingyu(CenterofNanoEnergyandDevices,CollegeofInformationandComputer,CenterUniversityofTechnology,Taiyuan030024,China)Abstract:MoSe2nanospherestructurewassynthesizedbyhydrothermalmethod.Thestructureandmorphologyofthesensingmaterialswerecharacterizedbyscanningelectronmicroscopy(SEM).MoSe2microstructuresexhibitsuniformnanosphereshapewithdiameterof200-300nm.Meanwhile,agassensorbasedonMoSe2sensingmaterialswasfabricatedusinginterdigitalelectrode,andgassensingperformanceoftheas-preparedsensorwastested.ThetestresultsshowthatMoSe2sensorhasexcellentgassensingperformanceatroomtemperature,candetectverylowvolumefractionofNO2,anditsresponsetoNO2of6×10-8volumefractionis1.0064.Thesensorcanbecompletelyrecoveredintheair.Furthermore,thesensoralsohasgoodresponse/recoverycharacteristics,repeatability,long-termstabilityandselectivity.Finally,combiningwith...
